申请/专利权人：安徽宏实自动化装备有限公司

申请日：2019-12-19

公开（公告）日：2021-01-12

公开（公告）号：CN111020652B

主分类号：C25D5/08(20060101)

分类号：C25D5/08(20060101);C25D17/00(20060101);C25D17/10(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2022.11.29#未缴年费专利权终止;2020.05.12#实质审查的生效;2020.04.17#公开

摘要：本发明公开一种喷流式电化学沉积设备，包括电镀槽，通过电镀槽内可并排设置一个或多个喷流机构、阴极、阳极，满足对一个或多个衬底的电解，电镀槽槽内安装有衬底固定架，衬底固定架上安装有衬底，衬底固定架两侧对称设置有喷流机构，喷流机构，喷流机构为中空壳体，且喷流机构两侧分别安装有隔膜、喷流板，喷流板一侧设置有阴极室，隔膜一侧设置有阳极室。本发明通过喷流固定板的设计，隔膜将阴极室内的阴极电解液和阳极室内的阳极电解液分开，电解过程中无需在阳极室里面的溶液添加添加剂，设置圆形形状和方形形状的喷流板，可以满足不同形状被镀物的电解，从而保证不同被镀物的电镀效果。

主权项：1.一种喷流式电化学沉积设备，其特征在于，包括电镀槽1，所述电镀槽1槽内安装有衬底固定架13，所述衬底固定架13上安装有衬底12，所述衬底固定架13两侧对称设置有喷流机构2，所述喷流机构2为中空壳体，且所述喷流机构2两侧分别安装有隔膜3、喷流板4，且所述喷流机构2两端均安装有紧固垫5，所述隔膜3与喷流板4设置于两个紧固垫5之间，所述喷流机构2底部开设有阴极电解液入孔8，所述阴极电解液入孔8通过水管连接循环泵17的出水口，所述循环泵17的进水口连接存储罐16；所述喷流板4一侧设置有阴极室19，位于所述阴极室19位置的电镀槽1上开设有溢流孔10，两个溢流孔10分别设置于衬底固定架13两侧，且两个溢流孔10分别通过水管连接存储罐16，所述隔膜3一侧设置有阳极室14，所述阳极室14内通过支架安装有阳极9，两个阳极9分别通过导线连接直流电源11，所述直流电源11通过导线连接衬底12。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安徽宏实自动化装备有限公司 一种喷流式电化学沉积设备

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