申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司;南京理工大学

申请日：2024-03-08

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117855112A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/78

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本申请公开了一种喷流块、喷流装置及划片机。所述喷流块包括主体部以及连接于主体部在其长度方向一侧的安装部，主体部具有入口流道、多个出口流道以及用于连通入口流道和多个出口流道的过渡流道，其中，扩散问题较为严重的出口流道为靠近入口流道的最外侧的出口流道，将该出口流道记为第一出口流道，通过在该过渡流道内与该第一出口流道相对的位置处增设挡片，且第一出口流道的中心线位于挡片所在平面内，第一出口流道的入口低于挡片的最低面，从而在不影响流体流入该第一出口流道的入口的情况下，避免在该第一出口流道的入口处形成不稳定的漩涡，保证出口射流的稳定性，减少射流扩散和破碎问题，提高射流的清洗能力。

主权项：1.一种喷流块，其特征在于，包括主体部（1）以及连接于所述主体部（1）的安装部（2），所述主体部（1）具有：入口流道（11）和多个出口流道（12），所述入口流道（11）的入口和所述安装部（2）间隔设置于所述主体部（1）的同一侧面，多个所述出口流道（12）沿所述主体部（1）的长度方向间隔设置，且所述出口流道（12）的出口与所述入口流道（11）的入口位于所述主体部（1）的不同侧面上，多个所述出口流道（12）中靠近所述入口流道（11）的最外侧流道为第一出口流道（12a）；过渡流道（13），沿所述主体部（1）的长度方向延伸并用于连通所述入口流道（11）和多个所述出口流道（12）；挡片（14），设置于所述过渡流道（13）内并与所述第一出口流道（12a）相对设置，所述第一出口流道（12a）的中心线位于所述挡片（14）所在平面内，且所述第一出口流道（12a）的入口低于所述挡片（14）的最低面。

全文数据：

权利要求：

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