申请/专利权人：上海新昇半导体科技有限公司

申请日：2020-10-19

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN112371614A

主分类号：B08B3/02(20060101)

分类号：B08B3/02(20060101);B08B3/08(20060101);B08B13/00(20060101);B24B37/10(20120101);B24B37/34(20120101);B24B49/00(20120101);B24B55/06(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.01.20#发明专利申请公布后的驳回;2021.03.09#实质审查的生效;2021.02.19#公开

摘要：本发明提供了一种研磨头清洗装置，包括：若干个清洗支路，每个所述清洗支路包括：喷雾单元、管道、自动阀门、传感器、控制单元和清洗液供应单元，所述传感器检测到所述研磨头的侧面是否存有附着物，向所述控制单元输出反馈信号，基于所述反馈信号，所述控制单元控制所述自动阀门开启或闭合，以控制所述喷雾单元启动与停止。所述喷雾单元启动时，所述喷雾单元向所述研磨头的侧面喷射清洗液。清洗液对所述附着物产生物理化学作用，使得所述附着物从所述研磨头的侧面掉落。避免在研磨头在上下料期间或其自身运动时，所述附着物掉落在研磨垫上，继而在所述晶圆上造成划痕或附着颗粒，最终影响晶圆制品的成品率。

主权项：1.一种研磨头清洗装置，用于清洗研磨机台，所述研磨机台包括研磨头及研磨腔，所述研磨腔具有一进出料口，所述研磨头悬于所述研磨腔内，其特征在于，包括：若干个清洗支路；每个所述清洗支路均包括：喷雾单元、管道、自动阀门、传感器及控制单元，所述喷雾单元及所述传感器均设置于所述进出料口的侧壁上，所述管道连通所述喷雾单元及一清洗液供应单元，所述自动阀门设置于所述管道上，所述控制单元与所述传感器及所述自动阀门信号连接，当所述传感器检测到所述研磨头的侧壁具有附着物时，所述控制单元控制所述自动阀门开启，所述喷雾单元向所述研磨头的侧壁喷出清洗液。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海新昇半导体科技有限公司 研磨头清洗装置

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