申请/专利权人：湖南中大检测技术集团有限公司;湖南中云科技有限公司

申请日：2020-06-23

公开（公告）日：2021-02-19

公开（公告）号：CN111693601B

主分类号：G01N29/02(20060101)

分类号：G01N29/02(20060101);G01N29/22(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.02.19#授权;2020.10.20#实质审查的生效;2020.09.22#公开

摘要：本发明涉及一种声表面波湿度传感器及其制作方法。该声表面波湿度传感器，设在衬底上表面的压电薄膜、设在压电薄膜上表面的叉指电极和ZnO纳米线石墨烯量子点复合结构敏感层；其中，涂覆在叉指电极的上表面和或压电薄膜未被叉指电极覆盖的上表面的ZnO纳米线石墨烯量子点复合结构敏感层由以下步骤实现：将纳米线粉末和石墨烯量子点溶液按照物料比1‑5mg:50‑2000μL混合，并加入子水稀释，超声分散得到敏感溶液；将敏感溶液涂在声表面波器件上并烘干即可。该声表面波湿度传感器的灵敏度高达40.16kHz％RH。本发明还包括上述声表面波湿度传感器的制作方法。

主权项：1.一种声表面波湿度传感器，其特征在于，包括衬底、设在所述衬底上表面的压电薄膜、设在所述压电薄膜上表面的叉指电极和ZnO纳米线石墨烯量子点复合结构敏感层；所述ZnO纳米线石墨烯量子点复合结构敏感层涂覆在叉指电极的上表面和或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面；其中，所述涂覆在所述叉指电极的上表面和或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面的所述ZnO纳米线石墨烯量子点复合结构敏感层由以下步骤实现：将纳米线粉末和石墨烯量子点溶液按照物料比1-5mg:50-2000μL混合，并加入水稀释，超声分散得到敏感溶液；将所述敏感溶液涂在所述叉指电极的上表面和或所述压电薄膜未被所述叉指电极覆盖的上表面上并烘干即可。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 湖南中大检测技术集团有限公司;湖南中云科技有限公司 声表面波湿度传感器及其制作方法

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