申请/专利权人：江苏惟哲新材料有限公司

申请日：2020-12-18

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN114646683B

主分类号：G01N27/70

分类号：G01N27/70

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.07.08#实质审查的生效;2022.06.21#公开

摘要：本发明提供了一种陶瓷湿度传感器，其能够提前泵出氧气，在无氧气存在的情况下电离水直接获取电流值进而得到湿度值，提高了湿度测量的准确性，其特征在于：第一氧化锆陶瓷层的一端上侧设有第一、二外电极，所述第一、二外电极分别通过导线与第一电极引脚的第一、四引脚相连；第二氧化锆陶瓷层的一端设有第一、二空腔，所述第一、二空腔的位置分别与所述第一、二外电极相对应，所述第一空腔通过第一多孔层与外界连通，所述第一、二空腔之间通过第二多孔层连通，所述第一、二空腔的下侧分别设有第一、二内电极，所述第一、二内电极分别通过导线和过孔与第一电极引脚的第二、三引脚相连。

主权项：1.一种陶瓷湿度传感器，其特征在于：包括至上而下依次为第一氧化锆陶瓷层（1）、第二氧化锆陶瓷层（2）、第三氧化锆陶瓷层（3）、第六氧化锆陶瓷层（6）；所述第一氧化锆陶瓷层（1）的一端上侧设有第一外电极（7）和第二外电极（8），所述第一外电极（7）和第二外电极（8）分别通过导线与第一电极引脚的第一引脚（9）和第四引脚（12）相连，所述第一电极引脚包括第一引脚（9）、第二引脚（10）、第三引脚（11）、第四引脚（12）；所述第二氧化锆陶瓷层（2）的一端设有第一空腔（13）和第二空腔（14），所述第一空腔（13）和第二空腔（14）的位置分别与所述第一外电极（7）和第二外电极（8）相对应，所述第一空腔（13）通过第一多孔层（15）与外界连通，所述第一空腔（13）和第二空腔（14）之间通过第二多孔层（16）连通，所述第一空腔（13）和第二空腔（14）的下侧分别设有第一内电极（17）和第二内电极（18），所述第一内电极（17）和第二内电极（18）分别通过导线和过孔与第一电极引脚的第二引脚（10）和第三引脚（11）相连；所述第三氧化锆陶瓷层（3）和第六氧化锆陶瓷层（6）之间设有加热器（19），所述加热器（19）通过导线和过孔与加热器引脚（20）相连，所述加热器（19）的上下两侧还分别设有氧化铝绝缘层（21）；所述第六氧化锆陶瓷层（6）的下侧设有加热器引脚（20）；使用时，通过设置连续的两个空腔，环境气体通过第一多孔层（15）进入第一空腔（13），对第一空腔（13）的内外电极间施加低电压，电压值为0.4~0.6V，将进入第一空腔（13）内气体中的全部氧气泵出，剩余气体则通过第二多孔层（16）进入第二空腔（14），在第二空腔（14）的内外电极间施加高电压，电压值为1.5~2.0V，则将进入第二空腔（14）的水全部电离，形成泵电流，将泵电流与湿度值绘制成同一温度下泵电流和湿度关系曲线，依靠该方式，即可通过监测传感器电路中的电流值，获取对应温度下环境中的湿度值。

全文数据：

权利要求：

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