申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司

申请日：2020-10-15

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212967659U

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H01L21/68(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：本实用新型提供一种卡盘及采用所述卡盘的键合设备，所述卡盘包括：盘体，在所述盘体上设置有多个真空吸附区，多个所述真空吸附区至少沿两个径向方向排布；控制装置，与所述真空吸附区关联，用于控制不同径向方向的真空吸附区彼此独立地运行。本实用新型的优点在于，能够控制不同径向方向的真空吸附区彼此独立地运行，互不影响，从而可实现不同径向方向上晶圆位置调整的单独控制，能够精确地调整晶圆的位置，提高晶圆对准精度。

主权项：1.一种卡盘，其特征在于，包括：盘体，在所述盘体上设置有多个真空吸附区，多个所述真空吸附区至少沿两个径向方向排布；控制装置，与所述真空吸附区关联，用于控制不同径向方向的真空吸附区彼此独立地运行。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长江存储科技有限责任公司 卡盘及采用所述卡盘的键合设备

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