申请/专利权人：瑞声科技(南京)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司

申请日：2020-12-16

公开（公告）日：2021-04-27

公开（公告）号：CN112710293A

主分类号：G01C19/5712(20120101)

分类号：G01C19/5712(20120101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.16#授权;2021.05.14#实质审查的生效;2021.04.27#公开

摘要：本发明提供了一种MEMS陀螺仪，包括环形结构以及绕环形结构的中心圆周均匀分布并经第一连接部与环形结构内侧或外侧连接的多个质量块；相邻两个质量块之间通过第二连接部连接，质量块通过弹性结构连接锚点，环形结构为正4N角星，质量块的数量为4N个，其中，N为整数，且N≥2。本发明的MEMS陀螺仪采用多段直线构型的星形，直线构型使星形的边内呈现统一的杨氏模量，最终提升了星形结构的杨氏模量均匀性，可以更好地发挥星形轴对称结构振动的各项同性特点，驱动模态与检测模态具有更小的频率差，拥有更高的灵敏度。而且参与角速度敏感的质量块布满MEMS陀螺仪的非敏感限制区域，可拥有更大的哥氏力，极大提升了芯片的面积使用率，增加了传感器的灵敏度。

主权项：1.一种MEMS陀螺仪，其特征在于，包括环形结构以及绕所述环形结构的中心圆周均匀分布并经第一连接部与所述环形结构内侧或外侧连接的多个质量块；相邻两个所述质量块之间通过第二连接部连接，所述质量块通过弹性结构连接锚点，所述环形结构为正4N角星，所述质量块的数量为4N个，其中，N为整数，且N≥2。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 瑞声科技(南京)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 MEMS陀螺仪

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