申请/专利权人：日置电机株式会社

申请日：2019-07-11

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112771387A

主分类号：G01R1/06(20060101)

分类号：G01R1/06(20060101);G01R31/26(20140101);G01R31/28(20060101);H01L21/66(20060101)

优先权：["20180727 JP 2018-141831","20180727 JP 2018-141832","20180727 JP 2018-141833"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.07.23#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本发明的测量装置100具备：分别按压至测量对象T的第一接触件1和第二接触件2；装配有第一接触件1和第二接触件2的主体部10；以及设有电连接于第一接触件1和第二接触件2的高频传输线路微带线路的传输基板60，主体部10具有：基座部20、保持第一接触件1和第二接触件2的保持部30以及装配于基座部20，支承保持部30的支承部40，保持部30随着第一接触件1和第二接触件2向测量对象T的按压，相对于基座部20相对移动。

主权项：1.一种测量装置，具备：多个接触件，分别按压至测量对象；主体部，装配有所述多个接触件；以及传输基板，设有电连接于所述多个接触件的高频传输线路，所述主体部具有：基座部；保持部，保持所述多个接触件；以及支承部，装配于所述基座部，支承所述保持部，所述保持部随着所述多个接触件向所述测量对象的按压，相对于所述基座部相对移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日置电机株式会社 测量装置

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