申请/专利权人：晶澳太阳能有限公司;晶澳太阳能越南有限公司

申请日：2020-12-28

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112760704A

主分类号：C30B15/04(20060101)

分类号：C30B15/04(20060101);C30B29/06(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.17#授权;2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本公开涉及一种硼‑镓共掺单晶设备及其制备方法，所述设备包括单晶炉，二次加料装置，提拉装置和单独的加料小管，制备方法包括以下步骤：步骤S1：通过二次加料装置向单晶炉加入第一原料，所述第一原料包括以下组分：第一硅料80000‑120000重量份，掺硼合金80‑120重量份，纯镓0.5‑2重量份，熔化第一原料，熔化后的第一原料结晶得到第一单晶棒；从石英坩埚内取出第一单晶棒；步骤S2：通过二次加料装置向单晶炉加入第二原料，所述第二原料包括以下组分：第二硅料160000‑200000重量份，掺硼合金160‑200重量份，纯镓0.5‑2重量份，熔化第二原料，熔化后的第二原料结晶得到第二单晶棒。

主权项：1.一种硼-镓共掺单晶制备设备，包括：单晶炉，所述单晶炉包括主室和副室，所述主室上部为主室候口，所述主室通过主室喉口与主室上方的副室相连通，主室候口处设有隔离阀；主室为一个中空的腔体，腔体底部设有石英坩埚，石英坩埚的上方为一个自上而下直径渐渐缩小的导流装置；主室的侧壁设有进气口和排气口，所述排气口外接至抽空装置；二次加料装置，所述二次加料装置包括加料筒、钼杆和石英锥，所述加料筒为具有上开口和下开口的中空的腔体，所述钼杆设于加料筒的内部，所述石英锥为向下逐渐增大的棱锥体，石英锥的顶部小于加料筒的内径且位于加料筒的内部，石英锥的底部大于加料筒的内径且位于加料筒的外部，石英锥设有自顶部到底部的贯穿孔，钼杆的下端穿过石英锥的贯穿孔以带动石英锥打开或者密封加料筒的下开口；提拉装置，提拉装置设于副室的上方且通过重锤连接至二次加料装置使得二次加料装置在副室和主室的内部移动；加料小管，所述加料小管用于向二次加料装置加料且独立于所述单晶炉、二次加料装置和提拉装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 晶澳太阳能有限公司;晶澳太阳能越南有限公司 硼-镓共掺单晶制备设备及其制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD