申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

申请日：2020-12-30

公开（公告）日：2021-05-07

公开（公告）号：CN112769025A

主分类号：H01S3/00(20060101)

分类号：H01S3/00(20060101);H01L21/67(20060101)

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2021.05.25#实质审查的生效;2021.05.07#公开

摘要：本发明提供一种光学整形装置，包括：激光发生器，用于产生激光束；可控微透镜阵列，包括多个按照阵列方式排列的可控微透镜；驱动机构，用于驱动所述激光束沿预定路径依次照射在至少部分可控微透镜上，以使所述可控微透镜对所述激光束进行整形；检测模块，用于对经过整形的激光束在预定位置形成的光斑进行检测，以获取光斑参数；上位机，与所述检测模块和所述可控微透镜阵列通讯连接，所述上位机依据所述光斑参数以及所述光斑参数对应的位置信息，调整对应位置的可控微透镜。本发明提供的技术方案能够使激光光斑的尺寸以及激光光强分布均匀，提升激光退火工艺的均匀性。

主权项：1.一种光学整形装置，其特征在于，包括：激光发生器，用于产生激光束；可控微透镜阵列，包括多个按照阵列方式排列的可控微透镜；驱动机构，用于驱动所述激光束沿预定路径依次照射在至少部分可控微透镜上，以使所述可控微透镜对所述激光束进行整形；检测模块，用于对经过整形的激光束在预定位置形成的光斑进行检测，以获取光斑参数；上位机，与所述检测模块和所述可控微透镜阵列通讯连接，所述上位机依据所述光斑参数以及所述光斑参数对应的位置信息，调整对应位置的可控微透镜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所 光学整形装置及方法

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