申请/专利权人：张家港中贺自动化科技有限公司

申请日：2019-12-30

公开（公告）日：2021-07-16

公开（公告）号：CN113126285A

主分类号：G02B27/00(20060101)

分类号：G02B27/00(20060101);G02B13/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.30#授权;2021.08.03#实质审查的生效;2021.07.16#公开

摘要：本发明提供一种宽谱线大视场物镜系统，其包括：第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头；各成像镜头依次设置，任一成像镜头对应一像面，来自所述照明单元的光束依次经第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头成像后逐级放大，所述第一成像镜头包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组，所述第二成像镜头包括依次设置的：第四成像镜组、成像孔径光阑、第二正光焦度的子镜组。本发明的宽谱线大视场物镜系统适于在200nm至450nm的深紫外波长范围使用，其通过设置第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头，具有提高放大倍率，并缩短整个系统长度，节省空间的效果。

主权项：1.一种宽谱线大视场物镜系统，其特征在于，所述宽谱线大视场物镜系统包括：第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头；各成像镜头依次设置，任一成像镜头对应一像面，来自所述照明单元的光束依次经第一成像镜头以及至少一个第二成像镜头成像后逐级放大，所述第一成像镜头包括依次设置的：第一成像镜组、第二成像镜组以及第三成像镜组，所述第二成像镜头包括依次设置的：第四成像镜组、成像孔径光阑、第五成像镜组；所述第二成像镜组中，至少有2片正透镜满足关系式：Dop0.7×D1，且其中焦距最短的2片正透镜满足关系式：0.7＜1fp1+1fp2×f2＜1.9；至少有2片负透镜满足关系式：Dop0.7×D1，且其中焦距的绝对值最短的2片负透镜满足关系式：0.45＜|1fm1+1fm2|×f2＜1.4；其中，Dop为透镜的通光孔径，D1为第二成像镜组G2和第三成像镜组G3孔径光阑的直径，fp1为满足关系式Dop0.7×D1焦距最短正透镜的焦距，fp2为满足关系式Dop0.7×D1焦距次短正透镜的焦距，fm1为满足关系式Dop0.7×D1焦距的绝对值最短负透镜的焦距，fm1为满足关系式Dop0.7×D1焦距的绝对值次短负透镜的焦距；所述第一成像镜组和第二成像镜组满足关系式：0.35＜f1f2＜1.5，第二成像镜组和第三成像镜组满足关系式：0.22＜f3f2×β＜0.8；其中，f2为第二成像镜组的组合焦距，f3为第三成像镜组的组合焦距，β为第一成像镜头的放大倍率。所述成像孔径光阑处选择性地插入有不同的光瞳滤波器；来自物面的光束依次经过所述第一成像镜组、第二成像镜组、第三成像镜组形成第一像面，所述第一像面处设置视场光阑，视场光阑通光口径与物方视野FOV尺寸相对应。

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权利要求：

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