申请/专利权人：日本碍子株式会社

申请日：2019-12-23

公开（公告）日：2021-07-23

公开（公告）号：CN113170539A

主分类号：H05B3/74(20060101)

分类号：H05B3/74(20060101);H01L21/02(20060101)

优先权：["20190125 JP 2019-011302"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.03.14#授权;2021.08.10#实质审查的生效;2021.07.23#公开

摘要：陶瓷加热器10具备陶瓷板20、主电阻发热体22和副电阻发热体23、25。主电阻发热体22是在陶瓷板20的内部设置于与晶片载置面20a平行的第一面P1上的线圈状的发热体。副电阻发热体23、25在陶瓷板20的内部设置于与第一面P1平行且位于第一面P1与晶片载置面20a之间的第二面P2上，是对基于主电阻发热体22的加热进行补充的二维形状的发热体。

主权项：1.一种陶瓷加热器，具备：具有晶片载置面的陶瓷板；线圈状的主电阻发热体，其在所述陶瓷板的内部设置于与所述晶片载置面平行的第一面内；以及二维形状的副电阻发热体，其在所述陶瓷板的内部设置于与所述第一面平行的第二面，对基于所述主电阻发热体的加热进行补充。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日本碍子株式会社 陶瓷加热器

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD