申请/专利权人：镇江润晶高纯化工科技股份有限公司

申请日：2021-06-07

公开（公告）日：2021-09-21

公开（公告）号：CN113415934A

主分类号：C02F9/10(20060101)

分类号：C02F9/10(20060101);C07C209/84(20060101);C07C211/63(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-发明专利申请公布后的驳回

法律状态：2023.07.21#发明专利申请公布后的驳回;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要：本发明公开了显影废液中四甲基氢氧化铵回收利用方法及装置，所述装置依次包括有一废液收集槽、第一过滤装置、一纳滤装置、第一调节槽、第二调节槽、第二过滤装置，所述装置依次通过带有控制阀的物料管线连接，显影废液通过第一过滤装置去除固体杂质，废液中光阻剂通过纳滤装置去除，滤液进入第一调节槽调节进行收集，纳滤二次废液收集进入第二调节槽沉淀光阻剂后过滤去除光阻剂进入第一调节槽进行收集，第一调节槽内溶液经过调节后进入蒸发浓缩装置进一步浓缩，溶液进入阳离子交换树脂柱去除金属离子，再进行阴离子交换树脂柱得到高纯TMAH水溶液。此方法TMAH回收率高，可连续生产，过程节能环保,易于推广使用。

主权项：1.显影废液中四甲基氢氧化铵回收利用装置，其特征在于，包括：显影液废液槽1和纳滤装置3，所述显影液废液槽1和第一过滤装置2一端连接，所述纳滤装置3和第一过滤装置2另一端连接，所述纳滤装置3渗透侧接口连接第一调节槽4，所述纳滤装置3浓缩侧接口连接第二调节槽5，所述第二调节槽5出口与第二过滤装置6进口连接，所述第二过滤装置6和第一调节槽4进口连接，所述第一调节槽4出口连接蒸发浓缩装置7进口，所述蒸发浓缩装置7出口和阳离子交换树脂柱8装置进口连接，所述阳离子交换树脂柱8装置出口与阴离子交换树脂柱9进口连接，所述阴离子交换树脂柱9出口与纯净TMAH储罐10连接。

全文数据：

权利要求：

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