申请/专利权人：富士胶片株式会社

申请日：2020-05-20

公开（公告）日：2022-01-21

公开（公告）号：CN113966552A

主分类号：H01L41/187(20060101)

分类号：H01L41/187(20060101)

优先权：["20190612 JP 2019-109611"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.02.15#实质审查的生效;2022.01.21#公开

摘要：本发明提供一种具备包括含有Pb的钙钛矿型氧化物的压电体层的、即使在高湿环境下驱动可靠性也高的压电元件。压电元件在基板上依次具备下部电极层、生长控制层、包含含有铅作为A位的主成分的钙钛矿型氧化物而构成的压电体层、以及上部电极层。生长控制层包含由MdN1‑dOe表示的金属氧化物，M是可置换钙钛矿型氧化物的A位的一种以上的金属元素。将M的电负性设为X时，1.41X‑1.05≤d≤A1·exp‑Xt1+y0，A1＝1.68×1012，t1＝0.0306，y0＝0.59958，钙钛矿型氧化物用Pba1αa2Zrb1Tib2βb3Oc表示，0.5＜a1b1+b2+b3＜1.07。

主权项：1.一种压电元件，其在基板上依次具备下部电极层、生长控制层、压电体层以及上部电极层，该压电体层是包含含有铅作为A位的主成分的钙钛矿型氧化物而构成的，所述生长控制层含有由下述通式1表示的金属氧化物，MdN1-dOe1M是可在所述钙钛矿型氧化物的A位上置换的一种以上的金属元素，N以选自由Sc、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Fe、Ru、Co、Ir、Ni、Cu、Zn、Sn、Ga、In及Sb组成的组中的至少一种为主成分，O是氧元素，d和e分别表示组成比，0＜d＜1，将M的电负性设为X时，1.41X-1.05≤d≤A1·exp-Xt1+y0A1＝1.68×1012，t1＝0.0306，y0＝0.59958，所述钙钛矿型氧化物由下述通式2表示，Pba1αa2Zrb1Tib2βb3Oc2Pb和α是A位元素，Zr、Ti及β是B位元素，a1、a2、b1、b2、b3及c分别表示组成比，满足0.5≤a1、0≤a2＜0.5、0＜b1＜1、0＜b2＜1、0≤b3＜1且0.5＜a1b1+b2+b3＜1.07。

全文数据：

权利要求：

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