申请/专利权人：苏州大学

申请日：2022-03-03

公开（公告）日：2022-07-22

公开（公告）号：CN217032971U

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.07.22#授权

摘要：本申请公开一种基于CGH的凸面光栅检测系统。该系统的干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上；经第一CGH补偿器相位调制后，将其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器；经第二CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。测试光与参考光发生干涉，干涉仪能够根据干涉条纹测量该光路的波像差；本申请具有结构简单、易于装调、光能利用率高、测量对象范围广的优点。

主权项：1.一种基于CGH的凸面光栅检测系统，其特征在于，包括：干涉仪、第一CGH补偿器、第二CGH补偿器及标准球面反射镜，所述干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上；经第一CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器；经第二CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州大学 一种基于CGH的凸面光栅检测系统

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD