申请/专利权人:苏州慧利仪器有限责任公司
申请日:2022-06-01
公开(公告)日:2022-08-12
公开(公告)号:CN114894121A
主分类号:G01B11/25
分类号:G01B11/25
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.08.30#实质审查的生效;2022.08.12#公开
摘要:本发明公开了一种改进5步相移干涉算法在极小相移步长下的应用,具有这样的特征,包括以下步骤:步骤1,使相移器产生预先设定的极小相移步长;步骤2,由电荷耦合元件采样记录5幅干涉条纹图;步骤3,进一步由改进5步相移算法对干涉条纹图中的光强数据进行处理,得到不连续的包裹相位;步骤4,对不连续的包裹相位通过相位解包裹算法得到连续的待测相位分布。本发明在线性相移误差情况下,由于通过相位空间求和取平均运算,极大地减少了相位纹波误差,可计算得到高度近似实际相移的相移步长,进一步提高了5步Hariharan算法的精度。而在随机相移误差情况下,为完全利用干涉条纹信息,扩展了相移频率求解步骤。
主权项:1.一种改进5步相移干涉算法在极小相移步长下的应用,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,使相移器产生预先设定的极小相移步长;步骤2,由电荷耦合元件采样记录5幅干涉条纹图;步骤3,进一步由改进5步相移算法对所述干涉条纹图中的光强数据进行处理,得到不连续的包裹相位;步骤4,对所述不连续的包裹相位通过相位解包裹算法得到连续的待测相位分布。
全文数据:
权利要求:
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