申请/专利权人：莫克斯泰克公司

申请日：2022-03-08

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115079325A

主分类号：G02B5/30

分类号：G02B5/30

优先权：["20210312 US 63/160,047"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.13#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：线栅偏振器可以在每个线12侧壁SW上具有保护层PL。保护层PL可以保护侧壁SW免受腐蚀、氧化或两者。保护层PL可以不存在于线12的远端DE或在线12的远端DE处更薄，该远端DE是更远离基板11的一端。通过从远端DE去除保护层PL，可以最小化或消除由保护层PL造成的偏振器性能下降。本发明特别适用于具有多个层UL和LL的线栅偏振器，并且在远端DE处的上层UL比嵌入的下层LL更耐腐蚀且更抗氧化。

主权项：1.一种线栅偏振器，包括：基板和所述基板上的多条线；每对相邻的线之间的通道；每条线具有更靠近所述基板的近端；每条线具有更远离所述基板的远端；在每条线的两个相对侧中的每一侧上的侧壁，每个侧壁面向所述通道并且从所述近端延伸到所述远端；每一侧壁上具有保护层，所述线被夹在一对保护层之间；所述一对保护层通过所述远端上没有保护层的区域彼此分开；所述保护层包括金属氧化物、氨基膦酸盐或两者；每一层保护层的最大厚度是25nm，所述厚度是在测量位置垂直于所述侧壁测量的；每条线具有更靠近所述近端的下层和更靠近所述远端的上层；所述上层比所述下层更耐水腐蚀、更抗氧化或两者兼具；以及所述基板、所述一对保护层和所述上层环绕所述下层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 莫克斯泰克公司 线栅偏振器的线侧壁保护

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