申请/专利权人：中国科学院微电子研究所

申请日：2020-05-27

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN113739919B

主分类号：G01J3/447

分类号：G01J3/447;G01N21/21;G01B11/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.12.31#实质审查的生效;2021.12.03#公开

摘要：一种反射式近场光学偏振光谱仪，包括：入射光发生模块、探针扫描显微模块和出射光检测模块，其中，探测光在入射光发生模块中经过整形和调制，发出不同偏振状态的探测光，入射光束聚焦至探针扫描显微模块的探针针尖上，探测光与探针针尖和样品表面构成的微纳空间结构相互作用，偏振状态发生变化，然后该光束的反射光散射光由出射光检测模块收集后进行整形聚焦。本发明能够实现纳米级的超高横向空间分辨率，满足半导体关键器件对纳米级尺寸精确测量需求；可避免因使用透镜元件产生色差而造成的离焦问题；同时可通过保偏结构保证探测光经调制后的偏振态在经反射元件反射后到达探针时保持不变；并且具有与样品非接触、对样品无破坏性等优点。

主权项：1.一种反射式近场光学偏振光谱仪，其特征在于，包括：入射光发生模块、探针扫描显微模块和出射光检测模块，其中，探测光在入射光发生模块中经过整形和调制，发出不同偏振状态的探测光，入射光束聚焦至探针扫描显微模块的探针针尖上，探测光与探针针尖和样品表面构成的微纳空间结构相互作用，偏振状态发生变化，然后该光束的反射光散射光由出射光检测模块收集后进行整形聚焦，通过对探测光偏振状态的解调获得相互作用中偏振态产生的变化信息，对该信息进行反演计算，就能够获得被测样品的光学常数和薄膜厚度相关信息；其中，所述入射光发生模块包括至少两个曲面反射元件，所述两个曲面反射元件具有相同的反射材料和镀膜结构并满足主光束的入射角相同且在10°和45°之间和两个入射平面相互垂直的条件，从而保证探测光的偏振特性不变，所述入射光束与探针之间的夹角大于30°小于90°。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院微电子研究所 反射式近场光学偏振光谱仪

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