申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-01-16

公开（公告）日：2022-09-20

公开（公告）号：CN115083881A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;H01J37/317

优先权：["20180130 IN 201841003399","20180124 US 62/621,460"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.10.11#实质审查的生效;2022.09.20#公开

摘要：在一个实例中，腔室入口组件包括腔室入口、用于输送管线的外部耦接件以及用于处理腔室的处理区域的内部耦接件。内部耦接件和外部耦接件分别在腔室入口的内端和外端上，其中内部耦接件的横截面面积大于外部耦接件的横截面面积。腔室入口组件还包括纵向剖面，该纵向剖面包含内端和外端以及第一边和第二边，第一边和第二边位于腔室入口的相对侧，其中纵向剖面的形状包括以下各者中的至少一个：三角形、修改式三角形、梯形、修改式梯形、矩形、修改式矩形、菱形和修改式菱形。腔室入口组件还包括盒，该盒包含腔室入口并经配置以设置到处理腔室的侧壁中。

主权项：1.一种用于将输送管线流体耦接到处理腔室的处理区域的腔室入口组件，所述腔室入口组件包括：入口主体，包括：高度尺寸；垂直于所述高度尺寸的轴向尺寸；垂直于所述高度尺寸和所述轴向尺寸两者的宽度尺寸；沿所述高度尺寸和轴向尺寸的所述入口主体的中心处的中心平面；具有第一开口的第一端；和具有第二开口的第二端，其中：所述第一端沿所述轴向尺寸与所述第二端相对设置，所述第一开口的第一横截面面积小于所述第二开口的第二横截面面积，所述第一开口相对于所述中心平面不对称，在所述中心平面的第一侧上具有所述第一横截面面积的较大部分，并且所述第二开口相对于所述中心平面对称；和设置在所述入口主体内的内部空腔，将所述第一开口流体耦接到所述第二开口，所述内部空腔包括：沿所述轴向尺寸和宽度尺寸在所述第一开口和所述第二开口之间延伸的第一边缘；和沿所述轴向尺寸和宽度尺寸在所述第一开口和所述第二开口之间延伸的第二边缘，其中：所述第一边缘沿所述宽度尺寸与所述第二边缘相对设置，所述第一边缘在所述中心平面的第一侧，并且所述第一边缘比所述第二边缘短。

全文数据：

权利要求：

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