申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司

申请日：2021-03-11

公开（公告）日：2022-09-23

公开（公告）号：CN113029366B

主分类号：G01J9/02

分类号：G01J9/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.09.23#授权;2021.07.13#实质审查的生效;2021.06.25#公开

摘要：本申请提供一种零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质。该方法包括：调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在预设方向上，偏移位置与零位位置之间具有偏移量；通过扫描机构采集光谱信号，并根据光谱信号获取待测物各膜层相对零位位置之间的多个距离；及根据每个距离及偏移量确定干涉物镜相对待测物的各膜层的零相位差位置。本申请的零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质中，通过干涉物镜相对零位位置的偏移量及实时计算得到的待测物的各膜层相对零位位置的距离，解算出待测物的各膜层对应的零相位差位置，缩短扫描时间，提高测量效率。

主权项：1.一种零相位差位置寻找方法，其特征在于，包括：调整扫描机构的干涉物镜与待测物之间在预设方向上的相对位置，以使所述干涉物镜从预设的零位位置到达预设的偏移位置，在所述预设方向上，所述偏移位置与所述零位位置之间具有偏移量；通过所述扫描机构采集光谱信号，并根据所述光谱信号获取所述待测物各膜层相对所述零位位置之间的多个距离；及根据每个所述距离及所述偏移量确定所述干涉物镜相对所述待测物的各膜层的零相位差位置，所述根据每个所述距离及所述偏移量确定所述干涉物镜相对所述待测物的各膜层的零相位差位置，包括：将每个所述距离及所述偏移量之和的负数作为所述待测物的各膜层的补偿量；及在所述预设方向上，将距离所述待测物的各膜层对应的补偿量所在的位置作为所述待测物的各膜层的零相位差位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 零相位差位置寻找方法、扫描系统及存储介质

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