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【发明公布】阵列基板及其制造方法、显示面板_深圳市华星光电半导体显示技术有限公司_202211049294.8 

申请/专利权人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

申请日:2022-08-30

公开(公告)日:2022-12-02

公开(公告)号:CN115425031A

主分类号:H01L27/12

分类号:H01L27/12;H01L21/77

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2022.12.02#公开

摘要:本申请公开一种阵列基板及其制造方法、显示面板,阵列基板通过五次构图工艺制备得到,相较于制造传统阵列基板所需的光罩数目为七个或者八个,制造本申请阵列基板所需的光罩数目减少。

主权项:1.一种阵列基板,其特征在于,所述阵列基板包括:基板;源极和漏极,设置于所述基板的表面上;第一绝缘层,覆盖所述源极、所述漏极和所述基板;有源层,设置于所述第一绝缘层远离源极和漏极的表面上,所述有源层具有源极接触区、漏极接触区以及沟道区,所述沟道区位于所述源极接触区和所述漏极接触区之间;第二绝缘层,设置于所述有源层远离所述第一绝缘层的表面上,且对应所述沟道区设置;栅极,设置于所述第二绝缘层远离所述有源层的表面上,且对应所述沟道区设置;第三绝缘层,覆盖所述第一绝缘层以及所述栅极;第一接触孔和第二接触孔,贯穿所述第三绝缘层,所述第一接触孔对应所述源极接触区设置,所述第二接触孔对应所述漏极接触区设置;第三接触孔以及第四接触孔,贯穿所述第三绝缘层和所述第一绝缘层,所述第三接触孔对应所述源极设置,所述第四接触孔对应所述漏极设置;以及连接电极,包括间隔设置的第一连接电极和第二连接电极,所述第一连接电极通过所述第一接触孔与所述源极接触区接触,所述第一连接电极通过所述第三接触孔与所述源极接触,所述第二连接电极通过所述第二接触孔与所述漏极接触区接触,所述第二连接电极通过所述第四接触孔与所述漏极接触。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 阵列基板及其制造方法、显示面板

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