申请/专利权人：朗美通经营有限责任公司

申请日：2020-03-13

公开（公告）日：2023-01-06

公开（公告）号：CN111799651B

主分类号：H01S5/183

分类号：H01S5/183

优先权：["20190401 US 62/827,545","20190719 US 16/517,405"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.01.06#授权;2022.04.22#实质审查的生效;2020.10.20#公开

摘要：一种装置，包括基板、在基板上的第一垂直腔表面发射激光器VCSEL阵列、在基板上并与第一VCSEL阵列相邻的第二VCSEL阵列、以及在第一VCSEL阵列和第二VCSEL阵列之间的绝缘结构。该绝缘结构在第一VCSEL阵列和第二VCSEL阵列之间提供电绝缘。

主权项：1.一种垂直发射装置，包括:基板；第一垂直腔表面发射激光器VCSEL阵列，其在基板上；第二VCSEL阵列，其在基板上并与第一VCSEL阵列相邻；绝缘结构，其在第一VCSEL阵列和第二VCSEL阵列之间，其中，该绝缘结构在第一VCSEL阵列和第二VCSEL阵列之间提供电绝缘；和背侧过孔，其从基板的底侧蚀刻，以将包括在第一VCSEL阵列中的第一VCSEL的阴极与包括在第二VCSEL阵列中的第二VCSEL的阳极电连接，其中，第一VCSEL的阴极在所述基板的底侧，第二VCSEL的阳极在所述基板的顶侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 朗美通经营有限责任公司 电绝缘垂直发射装置

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