申请/专利权人:福建兆元光电有限公司
申请日:2022-07-08
公开(公告)日:2023-03-17
公开(公告)号:CN218647090U
主分类号:G01R31/12
分类号:G01R31/12;G01R31/26;G01R1/04
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2023.03.17#授权
摘要:本实用新型涉及LED照明领域,尤其涉及一种Wafer片绝缘性测量装置,包括工作台和探针;所述工作台上设有Wafer片定位座、调节机构和电源;所述探针设置在调节机构上;所述探针朝向Wafer片定位座设置。本实用新型提供的Wafer片绝缘性测量装置相较于传统的测试方式,节省了人力物力,提高了测量精度。
主权项:1.一种Wafer片绝缘性测量装置,其特征在于,包括工作台和探针;所述工作台上设有Wafer片定位座、调节机构和电源;所述探针设置在调节机构上;所述探针朝向Wafer片定位座设置;所述调节机构包括底座、第一电机、第一螺杆、第一移动座、第二电机、第二螺杆、第二移动座、第三电机、第三螺杆和第三移动座,所述底座设置在所述工作台上,所述第一电机设置在所述底座上,所述第一电机与所述第一螺杆连接,所述第一移动座与所述底座滑动连接,所述第一移动座与所述第一螺杆螺纹配合,所述第二电机设置在所述第一移动座上,所述第二电机与所述第二螺杆连接,所述第二移动座与所述第一移动座滑动连接,所述第二移动座与所述第二螺杆螺纹配合,所述第三电机设置在所述第二移动座上,所述第三电机与所述第三螺杆连接,所述第三移动座与所述第二移动座滑动连接,所述第三移动座与所述第三螺杆螺纹配合,所述第一螺杆、第二螺杆和第三螺杆相互垂直,所述探针设置在所述第三移动座上。
全文数据:
权利要求:
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