申请/专利权人：江西维易科半导体科技有限公司

申请日：2022-12-26

公开（公告）日：2023-04-14

公开（公告）号：CN115963708A

主分类号：G03F7/26

分类号：G03F7/26;G03F7/30;G03F7/20;G03F7/16

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.05.02#实质审查的生效;2023.04.14#公开

摘要：本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种匀胶显影集成式工作台。技术问题：提供一种能够将每个功能的模块集成起来的匀胶显影集成式工作台。为了解决上述技术问题，本发明包括有支撑架、工作台和上片组件等；工作台呈圆形并置于支撑架上，工作台沿周向开有多个功能模块安装口，上片组件位于其中一个功能模块安装口上，上片组件包括上片通道、上片架、上片托盘、卡杆和复位弹簧，该功能模块安装口外侧安装有上片通道，上片架滑动连接于上片通道上。本发明通过采用圆形的工作台循环形式进行匀胶、加热、冷却和显影的工艺过程，尽可能少的使用机械手运转晶圆，避免了多次传送晶圆导致的精度误差。

主权项：1.一种匀胶显影集成式工作台，包括有支撑架1、工作台2和上片组件3，其特征在于，工作台2呈圆形并置于支撑架1上，工作台2沿周向开有多个功能模块安装口20，上片组件3位于其中一个功能模块安装口20上，上片组件3包括上片通道30、上片架31、上片托盘32、卡杆33和复位弹簧34，该功能模块安装口20外侧安装有上片通道30，上片架31滑动连接于上片通道30上，上片托盘32放置于该功能模块安装口20上，卡杆33通过复位弹簧34滑动连接于上片架31上，卡杆33与上片托盘32卡接配合，工作台2中央设有自动旋转组件5和匀胶组件4，其他的功能模块安装口20上还分别安装有加热组件6、下片组件和冷却装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西维易科半导体科技有限公司 一种匀胶显影集成式工作台

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