申请/专利权人：南京仁厚科技有限公司

申请日：2023-04-24

公开（公告）日：2023-05-23

公开（公告）号：CN116141259A

主分类号：B25B27/02

分类号：B25B27/02;B25J15/08;B25J18/00;B65G57/22

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.06.20#授权;2023.06.09#实质审查的生效;2023.05.23#公开

摘要：本发明属于硅片镀膜技术领域，具体公开了一种石墨舟装配校准装置及石墨舟，石墨舟装配校准装置包括底座、舟片放置装置，还包括机械臂、舟片夹持装置；舟片夹持装置安装于机械臂的末端，包括多个夹持组件，夹持组件呈多排分布，用于夹持舟片；各排夹持组件之间的间距相同，且能够同步改变；机械臂运载舟片夹持装置至舟片放置装置处，舟片夹持装置时夹持多个舟片，然后机械臂运载舟片夹持装置至底座处，使得各个夹持组件远离机械臂的一端朝下，各个舟片的下方与底座接触。本发明解决了现有石墨舟装配装置舟片间距不可调，仅能够用来装配固定间距的石墨舟，应用场景受限的问题。采用上述方案装配校准的本发明的石墨舟排列整齐，固定牢靠。

主权项：1.一种石墨舟装配校准装置，包括底座（100）、舟片放置装置（200），其特征在于，还包括机械臂（300）、舟片夹持装置（400）；所述舟片夹持装置（400）安装于所述机械臂（300）的末端，包括多个夹持组件（410），所述夹持组件（410）呈多排分布，用于夹持舟片；各排所述夹持组件（410）之间的间距相同，且能够同步改变；所述机械臂（300）运载所述舟片夹持装置（400）至所述舟片放置装置（200）处，所述舟片夹持装置（400）时夹持多个舟片，然后所述机械臂（300）运载所述舟片夹持装置（400）至所述底座（100）处，使得各个所述夹持组件（410）远离所述机械臂（300）的一端朝下，各个舟片的下方与所述底座（100）接触，利用所述底座（100）对舟片的下方进行限位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京仁厚科技有限公司 一种石墨舟装配校准装置及石墨舟

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