申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2019-03-07

公开（公告）日：2023-05-26

公开（公告）号：CN111886548B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;G03F1/86;G03F1/84;G06T7/73;G06T7/13;G06T7/12

优先权：["20180323 EP 18163680.4"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.05.26#授权;2020.11.20#实质审查的生效;2020.11.03#公开

摘要：公开了一种用于确定与特征的边缘有关的边缘位置的方法和相关装置，特征被包括在包括噪声的图像诸如扫描电子显微镜图像内。该方法包括从图像确定参考信号；以及确定相对于上述参考信号的边缘位置。通过在与估计边缘位置的初始轮廓平行的方向上应用图像至一维低通滤波器，可以从图像确定参考信号。

主权项：1.一种确定与特征的边缘有关的边缘位置的方法，所述特征被包括在包括噪声的图像内；所述方法包括：通过在与初始轮廓平行的方向上应用一维低通滤波器于所述图像来从所述图像确定参考信号；相对于所述参考信号确定所述边缘位置；以及在应用所述一维低通滤波器之前，变换包括所述边缘的所述图像的至少一部分，以在包括被定义为平行于所述初始轮廓的第一维度和被定义为垂直于所述初始轮廓的第二维度的变换空间中获取经变换的图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 量测方法和相关装置

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