申请/专利权人：东北大学;上海新弧源涂层技术有限公司

申请日：2023-04-04

公开（公告）日：2023-06-30

公开（公告）号：CN116356255A

主分类号：C23C14/06

分类号：C23C14/06;C23C14/35;C23C14/54;B23B27/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.07.18#实质审查的生效;2023.06.30#公开

摘要：本发明公开一种TiCN涂层的制备方法，包括以下步骤：S1、将金属基体抛光处理，再超声清洗，然后进行离子轰击，得到清洗后的基体；S2、将清洗后的基体置停留在Ti靶之前，通过功率20kW的脉冲反应，溅射获得TiN过渡层；S3、将溅射TiN过渡层后的基体停留在Ti靶之前，通过功率20kW脉冲反应，溅射TiCN过渡层；S4、将溅射TiCN过渡层后的基体停留在Ti靶之前，通过功率20kW脉冲反应，溅射TiCN顶层硬度层。本发明得到的TiCN涂层涂层的硬度可达到35GPa以上，同时具有低于0.1的摩擦系数，具有较好的润滑性能，拓宽了刀具涂层的研究范围，可以在复杂的切削环境下工作。

主权项：1.一种TiCN涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、基体的清洗：将金属基体抛光处理，再超声清洗，然后进行离子轰击，得到清洗后的基体；S2、溅射TiN过渡层：将清洗后的基体置停留在Ti靶之前，通过功率20kW的脉冲反应，溅射获得TiN过渡层；S3、溅射TiCN过渡层：将溅射TiN过渡层后的基体停留在Ti靶之前，通过功率20kW脉冲反应，溅射TiCN过渡层；S4、溅射TiCN顶层硬度层：将溅射TiCN过渡层后的基体停留在Ti靶之前，通过功率20kW脉冲反应，溅射TiCN顶层硬度层。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东北大学;上海新弧源涂层技术有限公司 一种基于高功率脉冲磁控溅射技术的TiCN涂层及其制备方法

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