申请/专利权人：中科三环(赣州)新材料有限公司

申请日：2023-06-09

公开（公告）日：2023-07-07

公开（公告）号：CN116397209A

主分类号：C23C14/54

分类号：C23C14/54;C23C14/16;C23C14/34;H01F41/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.09.22#授权;2023.07.25#实质审查的生效;2023.07.07#公开

摘要：本发明涉及重稀土镀膜领域，特别是涉及一种降低重稀土镀膜旁落率的方法。包括以下步骤：将钕铁硼毛坯加工成黑片状态，即将毛坯加工成一定规格后，清洗其表面；通过料板和钕铁硼材料组合的形式，将现有重稀土镀膜技术中的非恒定区的原子收集起来，通过原子沉积分布数据的收集统计，合理安排换位和重复次数，把非恒定区的原子沉积有效利用起来，达到85‑90%的溅出利用率，减少15‑20%的旁落率，提高稀缺资源的利用率，降低成本，在溅出率不改变的情况下，提高重稀土靶材的有效沉积利用率（降低重稀土靶材的无效旁落率），并且避免重稀土元素旁落在它处。

主权项：1.一种降低重稀土镀膜旁落率的方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：将钕铁硼毛坯加工成黑片状态，即将毛坯加工成一定规格后，清洗其表面；S2：将若干块料板铺满PVD通过式料盘，再将黑片铺设在料板上，放入真空镀膜机内；S3：在将真空镀膜机内部空气抽出至低压状态后，启动真空镀膜机的旋转靶，将重稀土元素沉积到料板上的钕铁硼材料上；S4：通过原子沉积分布数据的收集统计，统计具体厚度梯度分布，将料板进行换位并重复镀膜数次，让原子沉积少的黑片多次沉积，从而让每片达到正常产品需要的厚度或增重。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中科三环(赣州)新材料有限公司 一种降低重稀土镀膜旁落率的方法

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