申请/专利权人：中国科学院电工研究所

申请日：2023-04-24

公开（公告）日：2023-08-01

公开（公告）号：CN116516298A

主分类号：C23C14/24

分类号：C23C14/24;C23C14/06;C23C14/58;C23C14/56

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.08.18#实质审查的生效;2023.08.01#公开

摘要：本发明属于热电材料技术领域，具体涉及一种碲化铋基热电薄膜的卷对卷动态制备方法。本发明提供了一种碲化铋基热电薄膜的卷对卷动态制备方法，包括以下步骤：将柔性基底的两端分别固定在放卷装置和收卷装置上，对所述柔性基底进行收放卷，以金属碲和金属铋作为蒸发靶材，在所述柔性基底上进行蒸发镀膜，将得到的薄膜进行退火处理，得到所述碲化铋基热电薄膜。本发明采用卷对卷的动态沉积方式，可以制备米级甚至百米级的碲化铋基大面积热电薄膜材料，从而实现热电薄膜的宏量制备；并且本发明采用的蒸发镀膜的方式沉积效率高，能够精确控制薄膜厚度，同时本发明得到的碲化铋基热电薄膜表面致密，热电性能优异。

主权项：1.一种碲化铋基热电薄膜的卷对卷动态制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将柔性基底的两端分别固定在放卷装置和收卷装置上，对所述柔性基底进行收放卷，以金属碲和金属铋作为蒸发靶材，在所述柔性基底上进行蒸发镀膜，将得到的薄膜进行退火处理，得到所述碲化铋基热电薄膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院电工研究所 一种碲化铋基热电薄膜的卷对卷动态制备方法

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