申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司

申请日：2022-04-26

公开（公告）日：2023-11-03

公开（公告）号：CN116990560A

主分类号：G01R1/073

分类号：G01R1/073

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.11.21#实质审查的生效;2023.11.03#公开

摘要：本发明提供一种适用于测试不同角度Testkey的WAT探针卡，包括：绝缘承载板；探针，包括探针主体及探针头；探针主体容置于绝缘承载板中，且可在绝缘承载板中水平旋转；探针头凸出于绝缘承载板的第一面；外围引出电路，形成于绝缘承载板的第二面，且形成于探针的外围；导线，两端分别与探针及外围引出电路连接；驱动电机，设置于探针与外围引出电路之间的区域，以驱动所述探针旋转。该WAT探针卡可提高自动测试效率降低成本且不会存在用错测试程序的风险；整个测试过程，均是通过机械自动完成，有效提高测试精度；由于探针是易耗品，采用本发明的探针卡结构，当探针需要更换时，只需要将探针拆卸下来更换即可，不需要更换整个探针卡，有效节约成本。

主权项：1.一种适用于测试不同角度Testkey的WAT探针卡，其特征在于，所述探针卡包括：绝缘承载板，包括相对的第一面及第二面；探针，包括探针主体及与所述探针主体固定连接的探针头；所述探针主体容置于所述绝缘承载板中，且可在所述绝缘承载板中水平旋转；所述探针头凸出于所述绝缘承载板的第一面；外围引出电路，形成于所述绝缘承载板的第二面，且形成于所述探针的外围；导线，两端分别与所述探针及所述外围引出电路连接，实现所述探针的电路引出；驱动电机，设置于所述探针与所述外围引出电路之间的区域，且与所述外围引出电路通过控制线连接，以驱动所述探针旋转。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 适用于测试不同角度Testkey的WAT探针卡

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