申请/专利权人：麦斯克电子材料股份有限公司

申请日：2023-05-11

公开（公告）日：2023-11-03

公开（公告）号：CN219951205U

主分类号：C23C16/52

分类号：C23C16/52

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.03#授权

摘要：本实用新型公开一种APCVD背封炉用履带辅助调整装置，包括树脂轴套、转轮结构、固定底座；所述转轮结构设置在树脂轴套的内腔中，所述转轮结构包括转轮本体、轴承、转轮固定部分，所述轴承设置在转轮本体的内腔，所述轴承的底部设置有转轮固定部分；所述转轮固定部分嵌套设置在转轮本体底部的轴肩内，且转轮固定部分伸出树脂轴套内腔的外部，其底部通过位置调整机构与固定底座相连接；在树脂轴套外壁环向间隔设置有若干条履带导向槽，对应其中一个履带导向槽的上方设置有履带，可灵活固定在设备上，根据履带行进方向调整本装置，使之与履带合理配合，使履带在辅助装置允许范围内移动，避免履带接触两侧腔体导致硅片金属超标，减少硅片报废的发生。

主权项：1.一种APCVD背封炉用履带辅助调整装置，其特征在于：包括树脂轴套（1）、转轮结构（2）、固定底座（7）；所述转轮结构（2）设置在树脂轴套（1）的内腔中，所述转轮结构（2）包括转轮本体（14）、轴承（11）、转轮固定部分（15），所述轴承（11）设置在转轮本体（14）的内腔，所述轴承（11）的底部设置有转轮固定部分（15）；所述转轮固定部分（15）嵌套设置在转轮本体（14）底部的轴肩内，且转轮固定部分（15）伸出树脂轴套内腔的外部，其底部通过位置调整机构与固定底座（7）相连接；在树脂轴套（1）外壁环向间隔设置有若干条履带导向槽（16），对应其中一个履带导向槽（16）的上方设置有履带（10）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 麦斯克电子材料股份有限公司 一种APCVD背封炉用履带辅助调整装置

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