申请/专利权人：长飞光纤光缆股份有限公司

申请日：2023-07-17

公开（公告）日：2023-11-10

公开（公告）号：CN117023971A

主分类号：C03B37/014

分类号：C03B37/014;C03B20/00;C03B19/14

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.11.28#实质审查的生效;2023.11.10#公开

摘要：本发明涉及一种用于OVD工艺的变截面沉积腔，包括有沉积腔体，沉积腔体的一端与进风腔相连通，在进风腔侧竖直安设有一排上下间隔的喷灯，在沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘，上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连，沉积腔体的另一端与抽风腔相连，其特征在于所述的沉积腔体前后侧壁从进风腔一端向内倾斜延伸至另一端，使得沉积腔体的横向截面呈等腰梯形状，在沉积腔体的中部上下侧安设有水平移动座，所述的上、下旋转夹头与水平移动座相连接。本发明在进入沉积腔气体流量恒定的情况下，气流在沉积腔中保持缓慢的加速度状，这可使得气流在热量上升引起流动变化的情况下仍保持层流状态，减少紊流的产生，从而保持沉积过程中气流场的稳定性，提高沉积质量和效率。

主权项：1.一种用于OVD工艺的变截面沉积腔，包括有沉积腔体，沉积腔体的一端与进风腔相连通，在进风腔侧竖直安设有一排上下间隔的喷灯，在沉积腔体中安设有上、下旋转夹盘，上、下旋转夹盘或喷灯与上下移动装置相连，沉积腔体的另一端与抽风腔相连，其特征在于所述的沉积腔体前后侧壁从进风腔一端向内倾斜延伸至另一端，使得沉积腔体的横向截面呈等腰梯形状，在沉积腔体的中部上下侧安设有水平移动座，所述的上、下旋转夹头与水平移动座相连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长飞光纤光缆股份有限公司 一种用于OVD工艺的变截面沉积腔

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