申请/专利权人：通鼎互联信息股份有限公司;江苏通鼎光棒有限公司

申请日：2017-12-29

公开（公告）日：2023-10-20

公开（公告）号：CN108017271B

主分类号：C03B37/018

分类号：C03B37/018

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.20#授权;2018.06.05#实质审查的生效;2018.05.11#公开

摘要：本发明涉及OVD带状喷灯装置和OVD制棒系统及其使用方法，其中OVD带状喷灯装置包括并列设置的用于喷出原料混合气的第一带状喷灯、用于喷出燃料气的第二带状喷灯和用于喷出氧气的第三带状喷灯，第一带状喷灯、第二带状喷灯和第三带状喷灯均分别包括相互连通的带状狭缝喷嘴和气体扩散结构，气体扩散结构的末端与对应的气源连通，气体扩散结构的中部设有n级气体缓冲扩散腔，n级气体缓冲扩散腔用于使工作时的每条带状喷灯的内部的气压均匀，其中n≥3。本发明的OVD带状喷灯装置和OVD制棒系统及其使用方法既能满足高沉积速率的要求，还具有减少两端报废和不需移动灯具等优点。

主权项：1.一种OVD带状喷灯装置，其特征在于，所述OVD带状喷灯装置包括并列设置的用于喷出原料混合气的第一带状喷灯、用于喷出燃料气的第二带状喷灯和用于喷出氧气的第三带状喷灯，所述第一带状喷灯、所述第二带状喷灯和所述第三带状喷灯均分别包括相互连通的带状狭缝喷嘴和气体扩散结构，所述气体扩散结构的末端与对应的气源连通，所述气体扩散结构的中部设有n级气体缓冲扩散腔，所述n级气体缓冲扩散腔用于使工作时的每条带状喷灯的内部的气压均匀，其中n≥3；所述n级气体缓冲扩散腔包括n条气体缓冲通道和用于连通相邻两条气体缓冲管道的分流层，所述气体缓冲通道和所述分流层在所述n级气体扩散腔的高度方向交替设置，所述气体缓冲通道的宽度大于所述分流层的厚度，所述n条气体缓冲通道的容积沿气源到带状狭缝喷嘴的方向依次降低；所述气体缓冲通道为圆形管道，所述n条气体缓冲通道的管道直径沿气源到带状狭缝喷嘴的方向依次减小；所述气体缓冲扩散腔的高度为1～2米，n＝3。

全文数据：OVD带状喷灯装置和OVD制棒系统及其使用方法技术领域[0001]本发明涉及光纤制备技术领域，特别涉及一种0VD带状喷灯装置和0VD制棒系统及其使用方法。背景技术[0002]光纤预制棒主流制备技术包括?〇^法荷兰?1^11?81^0法美国六1乃、0¥0法美国Coring、VAD法（日本NTT及APVD法法国Alcatel，其中0VD管外气相沉积法法是20世纪70年代初由Corning公司研发用于制备预制棒芯棒的，经过科技发展0VD法被也广泛应用于制备外包层。0VD过程的化学反应机理为火焰水解过程，就是气态卤化物SiCl4等）通过氢氧焰或甲烷焰进行反应，生产大量纳米尺寸的“疏松体”粉末，随着棒体沿着喷灯往复移动，渐渐在芯棒上沉积一层层粉末直至变为一个预定尺寸、形貌的预制棒疏松体，沉积结束后的疏松体要在高温电炉中通过烧结和保温最终得到透明、玻璃状预制棒，烧结温度一般在1500°C左右，炉内不间断通入He、Ch等气体可去除掉棒体中的杂质。[0003]0VD法制备“疏松体”预制棒的优点主要是沉积速率快、沉积效率高等优点，目前预制棒制备用到的套管主要采用0VD法制备，在靶棒上沉积二氧化硅“疏松体”粉末，然后烧结成透明玻璃，抽走靶棒即得到圆筒状玻璃管Cylinder，这种圆筒状玻璃管经过机械深加工、拉伸可得到几何尺寸精确可匹配各种芯棒。沉积速率随着喷灯的改进和完善可达200gmin，平均沉积效率可达60%。而改进工艺最重要的是喷灯的改进和优化，最初OVD法制备光纤预制棒只有一盏喷灯，发展到两盏多盏一排喷灯，由单一的一组喷灯发展到一排、两排喷灯，这就大大提高了沉积效率。而喷灯结构的优化，可以提高火焰的均匀性，使得二氧化硅“疏松体”粉末在棒体分布更加均匀也满足了预制棒对折射率精确分布的需求，可以提高沉积效率，优化后的喷灯气体流向更加流畅，不会产生火焰冲突使得喷灯表面残留二氧化硅颗粒，而残留的二氧化硅颗粒堆积严重可能导致喷灯气体不通畅、火焰不稳定不均匀。带状灯装置的研发，直接增加了喷涂长度，增加了沉积速率，然而带来了火焰难于控制、均匀性差等难点，美国专利US5211732，US6047564，US4203553，US6837076等相关研究介绍了不同的带状灯设计方案，其中康宁公司专利US5211732设计了一排多盏喷嘴的喷灯，该装置明显比单灯和单组灯沉积速率快且随着喷灯间距的减少，增加了疏松预制棒有效长度。Heraeus专利US6047564介绍的也是一排组合灯，该专利介绍了通过改变靶棒转动速度和喷灯往复运动速度缩小棒体表面温度差异，通过改变喷灯火焰来改善棒体喷涂点温度，通过改变喷灯和靶棒距离来减少棒体喷涂点温度差异。专利US4203553设计的三组喷嘴成一定角度，中间喷嘴供给火焰，两侧喷嘴提供四氯化硅原料，设计者解决了喷灯表面二氧化硅残留的缺点但是由于灯体长度仅仅为15厘米所以不能够应用于制备较长的预制棒。康宁公司专利US6837076发明了一种宽面喷灯，该喷灯使用了一组缓冲栅来分散气体分子，喷嘴采用网格出气孔，喷灯部分组件采用高纯石英玻璃制作，灯体微结构可以提供会聚的疏松体来达到预定尺寸，微结构可以控制燃料气体和反应前驱体以制备光纤预制棒。[0004]单盏喷灯的0VD法制造工艺简单，沉积密度相对均匀，但是沉积速率低。将一盏灯增加至多盏灯或者一排喷灯控制因素相对复杂，显著提高了沉积效率，但是降低了疏松体沉积棒相对有效长度。而面状喷灯的设计采用微孔结构解决了气体均匀性等问题，也没有解决制造1米以上较长疏松体棒的技术难点。本文针对0VD法制备光纤预制棒设计了一种新颖带状喷灯，该喷灯既满足高沉积速率也具有减少两端报废和不需移动灯具等优点。发明内容[0005]本发明的目的是为解决以上问题的至少一个，本发明提供一种OVD带状喷灯装置和OVD制棒系统及其使用方法。[0006]根据本发明的一个方面，提供一种OVD带状喷灯装置，包括并列设置的用于喷出原料混合气的第一带状喷灯、用于喷出燃料气的第二带状喷灯和用于喷出氧气的第三带状喷灯，第一带状喷灯、第二带状喷灯和第三带状喷灯均分别包括相互连通的带状狭缝喷嘴和气体扩散结构，气体扩散结构的末端与对应的气源连通，气体扩散结构的中部设有n级气体缓冲扩散腔，n级气体缓冲扩散腔用于使工作时的每条带状喷灯的内部的气压均匀，其中n多3。[0007]其中，n级气体缓冲扩散腔包括n条气体缓冲通道和用于连通相邻两条气体缓冲管道的分流层，气体缓冲通道和分流层在n级气体扩散腔的高度方向交替设置，气体缓冲通道的宽度大于分流层的厚度，n条气体缓冲通道的容积沿气源到带状狭缝喷嘴的方向依次降低。[0008]其中，0VD带状喷灯装置还包括用于喷出阻隔气体的第四带状喷灯和用于喷出氧气的第五带状喷灯，第二带状喷灯、第三带状喷灯、第四带状喷灯和第五带状喷灯的数量均为两个，且排布顺序一次为第五带状喷灯a、第二带状喷灯a、第三带状喷灯a、第四带状喷灯a、第一带状喷灯、第四带状喷灯b、第三带状喷灯b、第二带状喷灯b、第五带状喷灯b。[0009]其中，第一带状喷灯和两个第四带状喷灯的出气角度保持一致，两个第三带状喷灯、两个第二带状喷灯和两个第五带状喷灯的出气角度分别以2〜8°的相对角度偏向第一带状喷灯的方向。[0010]其中，原料混合气包括原料蒸气和辅助气体，原料蒸气包括硅基材料蒸气或者锗基材料蒸气的至少一种，辅助气体包括氢气、甲烷或氧气中的至少一种，燃料气包括氢气和甲烷，阻隔气体包括惰性气体。[0011]其中，0VD带状喷灯装置还包括冷却液通道，每相邻两个带状喷灯之间靠近带状狭缝喷嘴的一侧设有冷却液通道。[0012]其中，气体缓冲通道为圆形管道，n条气体缓冲通道的管道直径沿气源到带状狭缝喷嘴的方向依次减小;气体缓冲扩散腔的高度为1〜2米，n=3。[0013]根据本发明的第二方面，提供一种包括该0VD带状喷灯装置的〇VD制棒系统，包括反应腔体、0VD带状喷灯装置、靶棒传动和重量测试系统、用于控制反应腔体内压差的抽风系统、控制反馈系统、可移动照相机、红外温度传感器和靶棒，〇VD带状喷灯装置、靶棒传动和重量测试系统、可移动照相机、红外温度感应传感器和靶棒均位于反应腔体内，可移动照相机和红外温度传感器通过控制反馈系统控制调节〇VD带状喷灯装置的原料进料量和进气量以及抽风系统的抽风量，进而控制疏松棒的表面均匀度、形状和尺寸。[0014]根据本发明的第三方面，提供一种0VD制棒方法，包括以下步骤：[0015]在控制反馈系统中输入既定的疏松预制棒的制造程序。[0016]带状喷灯产生均匀如一的带状火焰，反应前驱体发生高温火焰水解反应，得到白色粉末状二氧化硅，并喷涂在转动的中心靶棒上。[0017]红外温度感应传感器时刻扫描疏松预制棒的喷涂点的温度，当温度与控制温度差异超过允许的误差范围时，通过改变进气量微调火焰大小。[0018]可移动照相机时刻扫描疏松预制棒的外观，当棒体大小和均勾度与预设尺寸的差异超过允许的误差范围时，通过改变进料量、进气量微调疏松体预制棒的外观。[0019]本发明具有以下有益效果：[0020]1、喷灯不需要往复运动，最大限度减少区间报废。由于喷灯形状为一整条带状喷灯，喷灯全覆盖了整个芯棒有效长度上，因此可以最大限度减少由于喷灯带来的报废。[0021]2、喷灯n级气体缓冲通道的设计，火焰一致性较好，沉积的疏松棒外径均匀性较好。与传统喷灯供料系统不同，传统喷灯是单独质量流量控制器和沉积配方单独控制各个喷灯，由于喷灯等原因导致疏松棒外径出现缺陷后理论上无法弥补。[0022]3、设计原理简单，设备稳定性较好，维护方便。由CCD照相机、重量测试系统和喷灯三机构联动互补，使得沉积的疏松棒均匀性较好，由于较少的使用质量流量控制器，因此设备稳定性和后期维护方便。附图说明[0023]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：[0024]图1示出了普通实施方式的多盏喷灯的沉积示意图；[0025]图2示出了普通实施方式的一排喷灯的沉积示意图；[0026]图3示出了根据本发明第一种实施方式的0VD带状喷灯装置的截面图；[0027]图4示出了根据本发明第二种实施方式的0VD带状喷灯装置的截面图；[0028]图5示出了根据本发明实施方式的0VD带状喷灯装置的俯视图；[0029]图6示出了根据本发明第三中实施方式的0VD带状喷灯装置的截面图；[0030]图7示出了根据本发明实施方式的0VD带状喷灯装置的0VD制棒系统的示意图。具体实施方式[0031]下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。[0032]早期0VD法制备光纤预制棒专利是一个喷灯沉积，控制因素相对较少，沉积速率较低j冗积密度相对均匀，后来经过改进和优化形成一组或者一排带状的组合喷灯这样大大提高了沉积速率，如图1和图2所示，多盏喷灯和一排喷灯的沉积长度有效率如下：[0033]有效长度多盖盏喷灯）=L-n_l*d[0034]总长度（多盖喷灯）=L+n_l*d[0035]有效率多盖喷灯）=[L-n-1*d][L+n-1*d][0036]有效长度一排喷灯）=n-l*d[0037]总长度一排喷灯）=n+1*d[0038]有效率一排喷灯）=n-lAn+l[0039]一排喷灯的沉积长度有效率随着喷灯数量增加而增大，假定喷灯数量n为无限大，那么有效率就接近1，所以可以设想如果做成一条带状狭缝的喷灯就可以认为在一定长度上喷灯数量n为无限大，这就极大增加了沉积长度的有效率，本专利应用此创新点设计了一种新颖的带状喷灯。该喷灯包括带状狭缝出气孔，由于喷灯带状狭缝喷嘴长度超过1米，为了保证火焰均匀性要求出气孔气体的均匀性，专利设计了一种三级气体缓存扩散装置，基本满足气体在1-2米的长度上在出气口的气流压力相对稳定。[0040]如上文所述，本专利介绍了一种新颖的带状0VD喷灯装置，应用该装置可以快速、高效的制备疏松的二氧化硅疏松预制棒。该技术可以用于制备单模通信光纤，也可以制备多模光纤，该技术可以用于制备预制棒芯层、包层，也可以单独制备预制棒的部件。当采用该装置制备预制棒芯层时疏松的疏松体芯层应包括混合均匀的纯度较高的二氧化硅粉末和二氧化锗等掺杂物粉末等，当沉积外包层时，疏松体一般是纯度较高的二氧化硅粉末。除此以外，当用于制备弯曲损耗不敏感单模光纤G.657A时，可以根据疏松棒需求改变断面的折射率分布剖面。[0041]如图3所示，喷灯装置可以用于通过火焰水解法产生二氧化硅疏松体，来沉积疏松预制棒，喷灯装置包括多个带状喷灯，每个带状喷灯主要包括五部分，部件210、211、212、213、214、215、216、217、218为喷灯第一级气体缓冲通道，部件219、220、221、222、223、224、225、226、227为喷灯第二级气体缓冲通道，部件228、229、230、231、232、233、234、235、236为第三级气体缓冲通道，部件205为硅基原料蒸气和氧气混合气带状狭缝喷嘴，部件204、206为惰性气体组隔气带状狭缝喷嘴，部件203、207为喷灯内部氧气带状狭缝喷嘴，部件202、208为氢气或甲烷等燃料气带状狭缝喷嘴，部件201、209为喷灯外部氧气带状狭缝喷嘴。硅基原料蒸气和氧气混合气可依次通过部件232、223、214、205，氩气等惰性气体可依次通过部件231、222、213、204和依次通过233、224、215、206，内部氧气可依次通过部件230、220、211、202和依次通过部件234、225、216、207，氢气或者甲烷气体可依次通过部件229、220、211、202和235、226、217、208。本喷灯装置的每个喷灯的气体缓冲通道的数量为n条，可根据喷灯的具体深度和沉积要求进行调整，通常情况下n3。[0042]在本实施例中，n=3,三级气体缓冲通道设计不仅减少了气体流量控制器的数量而且通过气体力学概念设计的喷灯装置更加容易保养和维护。另外，带状喷灯长可为1〜2米左右，要在1〜2米长的距离上保持出气的压力均匀是个很大的挑战，本发明通过三级缓冲装置保证了出气孔的出气压力均匀性，带状喷灯的设计一方面是为了增加沉积速率，另外一方面减少两端损失。制备喷灯的材料可以是铝合金或者钛合金，部分可以是高纯石英玻璃。[0043]反应物或者燃料、氧料通过物料进口进入气体扩散结构并进一步进入n级气体缓冲扩散腔，每个n级气体缓冲扩散腔包括分流层和n条气体缓冲通道，分流层为立体空腔结构，可以有效扩散气体分子，其中三条气体缓冲通道的第一条气体缓冲通道容积228、229、230、231、232、233、234、235、236大于第二条气体缓冲通道（219、220、221、222、223、224、225、226、227大于第三条气体缓冲通道210、211、212、213、214、215、216、217、218。[0044]OVD带状喷灯装置包括并列设置的第一带状喷灯、第二带状喷灯、第三带状喷灯、第四带状喷灯和第五带状喷灯。其中，第一带状喷灯包括部件232、223、214、205，硅基原料蒸气和氧气混合气可依次通过部件232、223、214、205，硅基原料蒸气和氧气混合气的比例由装在第一带状喷灯的气体扩散结构内的液体流量计和气体流量计来控制;第四带状喷灯为两个，分别包括部件231、222、213、204和部件233、224、215、206，氩气等惰性气体可依次通过部件231、222、213、204和依次通过233、224、215、206;第三带状喷灯为两个，分别包括部件230、220、211、203和部件234、225、216、207，内部氧气可依次通过部件230、220、211、203和依次通过部件234、225、216、207;第二带状喷灯为两个，分别包括部件229、220、211、202和部件235、226、217、208，氢气或者甲烷气体可依次通过部件229、220、211、202和235、226、217、208。[0045]其中硅基原材料和氧气混合后，混合气体通过一级二级气体缓冲通道体和分流扩散层至第三级气体缓冲通道，气体在同一横断面上压力均匀，最后从带状狭缝喷嘴205均匀喷出。带状狭缝喷嘴202、208为氢气等燃料气，如上经过三级气体缓冲通道和三次分流扩散层，最终燃料气与氧气剧烈反应产生大量热和充足的水蒸汽。喷出的气态四氯化硅等反应前驱体，通过火焰水解反应见式1，2生成疏松体颗粒沉积在以一定速率转动的中心靶棒上。带状狭缝喷嘴204、206喷出的氩气等惰性气体，氩气的作用是一方面是维持轨迹原材料不受干扰，另外一方面是保护疏松体气流不在狭缝205周围沉积，带状狭缝喷嘴201、209喷出的氧气一方面作为燃料气的反应物另一方面可以保护火焰不受外界环境气流变化的干扰。[0046]水解反应：[0047]式l:SiCl4+〇2+2H2=Si〇2+4HCl[0048]式2:GeCl4+〇2+2H2=Ge〇2+4HCl[0049]图5喷灯为带状狭缝喷嘴201、202、203、204、205、206、207、208和、209的俯视平面图。喷灯长度可根据芯棒有效长度选择，避免了接棒带来的水峰偏高等问题。[0050]图4为本技术的另一个具体实施方式，该方案优化了喷灯的细节，增加了对喷灯温度保护的冷却液通道，其中循环通道311、313、315、317、319、321、323、325、327可为为恒温循环水或者其他恒温冷却液，恒温冷却液可以保持喷灯灯体保持在一个合适的温度范围内，以防止由于喷灯长时间工作温度急剧增加导致狭缝形变引起火焰均匀性变差。优化后的喷灯进气稳定性优于前者，具备自我调节功能，气体缓冲通道更加便于实际操作。[0051]图6为进一步优化后的喷灯表面，带状狭缝喷嘴204、205、206保持相对位置和角度不变，带状狭缝喷嘴201、202、203、207、208、209分别以约2〜8°的相对角度偏向中间线，这样的通道设计会产生会聚的火焰，会聚的火焰有利于水解反应的发生，产生的疏松体流体不分散，而分散的疏松体流体容易因为温度骤降没有粘性导致不能有效沉积在旋转的靶棒上。优化后进一步增加了510和511恒温冷却液通道，保障喷灯在合理的温度区间（110〜200。。工作。[0052]该喷灯装置应用于卧式0VD法制备光纤预制棒，如图7为制棒平台示意图，包括喷灯装置604、靶棒传动和重量测试系统603、抽风系统601、控制反馈系统608、可移动CCD照相机605、红外温度感应传感器606和料气管路607,其中，料气管路607为于喷灯各带状狭缝喷%料气来源，多管路供应可通过反馈调节火焰均勾性。[0053]首先在控制反馈系统中输入既定制棒程序，带状喷灯产生均匀如一的带状火焰，四氯化硅等反应前驱体经过高温火焰水解反应见水解反应式12得到一定温度白色疏松状二氧化硅，喷涂在转动的中心靶棒602上。抽风系统控制601保持反应腔体（图中未画出）相对压差为_6〇0〜-1400pa，嵌附在喷灯一侧的是CCD高速照相仪605和红外温度感应传感器606〇[00M]当预制棒5没有出现异常则按照既定程序工作，如果预制棒出现尺寸缺陷则控制反馈系统608调节进料量、进气量、抽风微调外貌尺寸，而红外温度感应传感器606则时刻扫描预制棒体喷涂点的温度，一旦出现温度差异超过允许的误差范围就会通过改变进气量微调火焰大小。[0055]本发明的带状喷灯和尺寸、温度等联合反馈系统可以制备外径均匀、大尺寸光纤预制棒。利用本发明的喷灯装置制备光纤预制棒，喷灯的长度就是预制棒的长度所以不需要移动喷灯，减少了因为来回移动喷灯带来的两端报废。[0056]以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明掲露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

权利要求：1.一种OVD带状喷灯装置，其特征在于，所述OVD带状喷灯装置包括并列设置的用于喷出原料混合气的第一带状喷灯、用于喷出燃料气的第二带状喷灯和用于喷出氧气的第三带状喷灯，所述第一带状喷灯、所述第二带状喷灯和所述第三带状喷灯均分别包括相互连通的带状狭缝喷嘴和气体扩散结构，所述气体扩散结构的末端与对应的气源连通，所述气体扩散结构的中部设有n级气体缓冲扩散腔，所述n级气体缓冲扩散腔用于使工作时的每条带状喷灯的内部的气压均匀，其中n多3。2.如权利要求1所述的〇VD带状喷灯装置，其特征在于，所述n级气体缓冲扩散腔包括n条气体缓冲通道和用于连通相邻两条气体缓冲管道的分流层，所述气体缓冲通道和所述分流层在所述n级气体扩散腔的高度方向交替设置，所述气体缓冲通道的宽度大于所述分流层的厚度，所述n条气体缓冲通道的容积沿气源到带状狭缝喷嘴的方向依次降低。3.如权利要求1所述的0VD带状喷灯装置，其特征在于，所述0VD带状喷灯装置还包括用于喷出阻隔气体的第四带状喷灯和用于喷出氧气的第五带状喷灯，所述第二带状喷灯、第三带状喷灯、第四带状喷灯和第五带状喷灯的数量均为两个，且排布顺序一次为第五带状喷灯a、第二带状喷灯a、第三带状喷灯a、第四带状喷灯a、第一带状喷灯、第四带状喷灯b、第三带状喷灯b、第二带状喷灯b、第五带状喷灯b。4.如权利要求3所述的0VD带状喷灯装置，其特征在于，所述第一带状喷灯和两个所述第四带状喷灯的出气角度保持一致，所述两个第三带状喷灯、两个第二带状喷灯和两个第五带状喷灯的出气角度分别以2〜8°的相对角度偏向第一带状喷灯的方向。5.如权利要求3所述的0VD带状喷灯装置，其特征在于，所述原料混合气包括原料蒸气和辅助气体，所述原料蒸气包括硅基材料蒸气或者锗基材料蒸气的至少一种，所述辅助气体包括氢气、甲烷或氧气中的至少一种，所述燃料气包括氢气和甲烷，所述阻隔气体包括惰性气体。6.如权利要求1所述的0VD带状喷灯装置，其特征在于，所述0VD带状喷灯装置还包括冷却液通道，每相邻两个带状喷灯之间靠近带状狭缝喷嘴的一侧设有冷却液通道。7.如权利要求1所述的0VD带状喷灯装置，其特征在于，所述气体缓冲通道为圆形管道，所述n条气体缓冲通道的管道直径沿气源到带状狭缝喷嘴的方向依次减小；所述气体缓冲扩散腔的高度为1〜2米，n=3。8.—种包括如权利要求1〜7任一所述的OVD带状喷灯装置的OVD制棒系统，其特征在于，包括反应腔体、所述0VD带状喷灯装置、靶棒传动和重量测试系统、用于控制反应腔体内压差的抽风系统、控制反馈系统、可移动照相机、红外温度传感器和靶棒，所述0VD带状喷灯装置、靶棒传动和重量测试系统、可移动照相机、红外温度感应传感器和靶棒均位于所述反应腔体内，所述可移动照相机和红外温度传感器通过所述控制反馈系统控制调节所述0VD带状喷灯装置的原料进料量和进气量以及抽风系统的抽风量，进而控制疏松预制棒的均匀、形状和尺寸。9.一种采用权利要求8所述的0VD制棒系统进行0VD制棒的方法，其特征在于，包括以下步骤：在所述控制反馈系统中输入既定的疏松预制棒的制造程序；带状喷灯产生均匀如一的带状火焰，反应前驱体发生高温火焰水解反应，得到白色粉末状二氧化硅，并喷涂在转动的中心靶棒上；红外温度感应传感器时刻扫描疏松预制棒的喷涂点的温度，当温度与控制温度差异超过允许的误差范围时，通过改变进气量微调火焰大小；可移动照相机时刻扫描疏松预制棒的外观，当棒体大小和均匀度与预设尺寸的__#过允许的误差范围时，通过改变进料量、进气量微调定值棒的外观。~

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