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【实用新型】一种CVD/CVI工艺尾气的冷凝除尘装置_北京北方华创真空技术有限公司_202321476878.3 

申请/专利权人:北京北方华创真空技术有限公司

申请日:2023-06-10

公开(公告)日:2023-11-21

公开(公告)号:CN220047412U

主分类号:B01D45/16

分类号:B01D45/16;B01D53/00;B01D5/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2023.11.21#授权

摘要:本申请涉及一种CVDCVI工艺尾气的冷凝除尘装置,涉及工业尾气处理装置技术领域,其包括分离机构,分离机构包括外壳和法兰,法兰可拆卸连接于外壳顶端,外壳的上端一侧设有贯穿外壳的进风管,法兰上设有沿法兰的厚度方向贯穿法兰的排风管;外壳还包括内筒和套设在内筒外的外筒,内筒的外壁与外筒的内壁之间形成封闭的冷却腔,外筒底部一侧固设有与冷却腔相连通的进液管,外筒上部一侧固设有与冷却腔相连通的排液管。本申请具有降低对冷凝除尘装置的维护成本的效果。

主权项:1.一种CVDCVI工艺尾气的冷凝除尘装置,包括分离机构1,其特征在于,所述分离机构1包括外壳11和法兰12,所述法兰12可拆卸连接于所述外壳11顶端,所述外壳11的上端一侧设有贯穿所述外壳11的进风管111,所述法兰12上设有沿所述法兰12的厚度方向贯穿所述法兰12的排风管112;所述外壳11还包括内筒113和套设在所述内筒113外的外筒114,所述内筒113的外壁与所述外筒114的内壁之间形成封闭的冷却腔117,所述外筒114底部一侧固设有与所述冷却腔117相连通的进液管115,所述外筒114上部一侧固设有与所述冷却腔117相连通的排液管116。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 北京北方华创真空技术有限公司 一种CVD/CVI工艺尾气的冷凝除尘装置

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