申请/专利权人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司

申请日：2023-02-23

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220829115U

主分类号：F28D7/16

分类号：F28D7/16;C01B33/03;F28D21/00;F25D17/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型提供一种还原尾气余热利用装置及多晶硅生产线，涉及多晶硅生产领域。还原尾气余热利用装置包括尾气管道、第一夹套、第二夹套、氢气预热器和三氯氢硅预热器，尾气管道的入口用于连接还原炉的尾气排放口，氢气预热器和三氯氢硅预热器接于尾气管道。还原炉中产生的还原尾气经尾气排放口排入尾气管道，并流经三氯氢硅预热器，进而通过三氯氢硅预热器与三氯氢硅进行热交换，提高三氯氢硅的温度。此时，三氯氢硅在汽化过程中所用的蒸汽的量得以减少，从而降低了生产成本，实现了对还原尾气余热的有效利用。

主权项：1.一种还原尾气余热利用装置，其特征在于，包括尾气管道、三氯氢硅预热器、第一夹套、第二夹套和三氯氢硅过热器，所述尾气管道的入口用于连接还原炉的尾气排放口，所述三氯氢硅预热器接于所述尾气管道；所述第一夹套设于所述尾气管道，且所述第一夹套位于所述三氯氢硅预热器与所述还原炉之间；所述第一夹套的出口接有第一闪蒸罐；所述第二夹套设于所述尾气管道，且所述第二夹套位于所述三氯氢硅预热器与所述还原炉之间，所述第二夹套的出口接有第二闪蒸罐；所述第一夹套位于所述第二夹套与所述还原炉之间，所述第二闪蒸罐闪蒸出的蒸汽压力小于所述第一闪蒸罐闪蒸出的蒸汽压力；所述第一闪蒸罐的出口与所述三氯氢硅过热器连通。

全文数据：

权利要求：

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