申请/专利权人：宁波日晟新材料有限公司

申请日：2022-04-11

公开（公告）日：2023-11-28

公开（公告）号：CN114672252B

主分类号：C09G1/02

分类号：C09G1/02;B24B37/34;H01L21/306;H01L21/3105

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.11.28#授权;2022.12.20#实质审查的生效;2022.06.28#公开

摘要：本发明公开了一种无味氮化铝抛光液，其由以下质量浓度的原料组成：0.1～40％研磨剂颗粒、0.5～5％醇醚、0.5～20％氧化剂、0.2～5％pH稳定剂，余量为去离子水；且所述氮化铝抛光液pH值为2.5～4.5。本发明的氮化铝抛光液，不仅具有切削率高，表面质量稳定，循环使用寿命长的优点，而且无挥发性和重金属污染问题，易于长期储存；尤其适用于超精密光学器件或半导体功率器件的氮化铝表面抛光。本发明还公开了一种无味氮化铝抛光液的制备方法和应用。

主权项：1.一种无味氮化铝抛光液，其特征在于，所述氮化铝抛光液由以下质量浓度的原料组成：0.1～40％研磨剂颗粒、0.5～5％醇醚、0.5～20％氧化剂、0.2～5％pH稳定剂，余量为去离子水；且所述氮化铝抛光液pH值为2.5～4.5；所述研磨剂颗粒为氧化硅、氧化铝、氧化铈、氧化锰、氧化镁、氮化铝、碳化硼、钻石中的一种或多种物质；所述醇醚为乙二醇和丙二醇的各种低碳醇醚中的一种或多种物质。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 宁波日晟新材料有限公司 一种无味氮化铝抛光液及其制备方法和应用

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