申请/专利权人：东莞市德普特电子有限公司

申请日：2023-08-31

公开（公告）日：2023-12-12

公开（公告）号：CN117214981A

主分类号：G02B3/00

分类号：G02B3/00;B41M5/00;B41M3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2023.12.29#实质审查的生效;2023.12.12#公开

摘要：本发明涉及光学微透镜技术领域，尤其是指一种超疏水性表面电流体动力喷印MLA工艺及其结构，包括移动平台、电喷印设备、重离型膜、PDMS层、氧化锌层和八氟环丁烷层，重离型膜装设在移动平台上，PDMS层设置在重离型膜的上表面，氧化锌层蒸镀在PDMS层的上表面，氧化锌的上表面设置有多个圆柱体形状的凹槽，多个凹槽呈阵列分布，八氟环丁烷层蒸镀在氧化锌层的上表面。本发明在氧化锌表面修饰低表面能物质能得到超疏水性表面，依靠聚合物的表面张力，避免在非MLA形成区域残留液滴；MLA外观一致性高，质量较佳，适用于ARVR眼镜或者相关ARVR设备。

主权项：1.一种超疏水性表面电流体动力喷印MLA工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、使用去离子水清洁重离型膜承载的PDMS表面；S2、使用物理气相沉积法将氧化锌蒸镀到PDMS表面；S3、在氧化锌表面旋涂光刻胶，并将MLA形成的区域曝光；S4、使用显影液将曝光区域的光刻胶去除，并使用去离子水清洗；S5、使用干法蚀刻加以六氟化硫和氩气将曝光区域的氧化锌进行蚀刻，并形成圆柱体形状的凹槽阵列；S6、使用剥离液将未曝光的光刻胶去除，并使用去离子水清洗；S7、使用化学气相沉积法将八氟环丁烷蒸镀到氧化锌的表面进行低表面能修饰；S8、去离子水清洗八氟环丁烷的表面；S9、将电喷印设备和蒸镀完八氟环丁烷的基板接通电路，移动平台将基板移动到电喷印设备下方；将电路电压逐渐上升到600V，使电喷印设备内的聚合物在喷嘴处形成泰勒锥；再将电压逐渐上升到800V，使聚合物滴落到圆柱体形状的凹槽表面，因凹槽表面为疏水表面，聚合物由于表面张力在凹槽上方形成半球体即微透镜；移动平台将基板移动到下一个需要制作微透镜的位置，喷嘴滴落聚合物形成微透镜；直至完成整个微透镜阵列的制作；S10、对滴落的聚合物进行固化。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞市德普特电子有限公司 一种超疏水性表面电流体动力喷印MLA工艺及其结构

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