申请/专利权人：广东先导微电子科技有限公司

申请日：2023-05-15

公开（公告）日：2023-12-15

公开（公告）号：CN220189565U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.15#授权

摘要：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种退火石英管摆放架，包括：底板与支架；所述支架设置于所述底板上，用于沿第一方向放置石英管；所述底板上沿第一方向分别设置有公制刻度尺与英制刻度尺。本方案在石英管放置于支架上之后，可以通过公制刻度尺读取石英管的长度，并通过英制刻度尺直接量取对应的砷量，从而起到提高操作效率的效果；同时，通过公制刻度尺与英制刻度尺可以便于工作人员判断砷与石英舟的距离，避免砷与石英舟距离过近；相比于现有的对石英舟与砷的距离控制方式，可以有效提高控制的精准度，从而可以有效解决现有的石英管退火过程中对石英舟与砷的距离控制方式精准度较低的问题。

主权项：1.一种退火石英管摆放架，其特征在于，包括：底板1与支架2；所述支架2设置于所述底板1上，用于沿第一方向放置石英管3；所述底板1上沿第一方向分别设置有公制刻度尺11与英制刻度尺12。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东先导微电子科技有限公司 一种退火石英管摆放架

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