申请/专利权人：西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司

申请日：2023-09-26

公开（公告）日：2023-12-22

公开（公告）号：CN117263653A

主分类号：C04B35/01

分类号：C04B35/01;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.01.09#实质审查的生效;2023.12.22#公开

摘要：本发明给出了一种IZO靶材及其制备方法，属于靶材技术领域，该方法包括：将氧化铟粉末、掺杂金属氧化物粉末和氧化锌粉末在水中混合均匀，得到固含量为55～65％的浆料；向所述浆料加入聚乙烯羧酸分散剂后，搅拌28～32分钟，并在砂磨机内研磨，再加入聚乙烯醇粘结剂，分散28～32分钟后，喷雾造粒制成粉末；将喷雾造粒制成的粉末依次进行冷压成型和冷等静压成型，得到冷等静压素坯；将所述冷等静压素坯依次进行脱脂烧结、随炉冷却至室温后，再进行机械加工处理，得到IZO靶材。本发明的IZO靶材的相对密度高，电阻率低，弯曲强度高，组织成分均匀，晶粒尺寸校，具有优良的电学及力学性能。

主权项：1.一种IZO靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：步骤S1、将氧化铟粉末、掺杂金属氧化物粉末和氧化锌粉末在水中混合均匀，得到固含量为55～65％的浆料；所述掺杂金属氧化物粉末为氧化锡粉末或氧化钛粉末；步骤S2、向所述浆料加入聚乙烯羧酸分散剂后，搅拌28～32分钟，并在砂磨机内研磨，再加入聚乙烯醇粘结剂，分散28～32分钟后，喷雾造粒制成粉末；步骤S3、将喷雾造粒制成的粉末依次进行冷压成型和冷等静压成型，得到冷等静压素坯；步骤S4、将所述冷等静压素坯依次进行脱脂烧结、随炉冷却至室温后，再进行机械加工处理，得到IZO靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司 一种IZO靶材及其制备方法

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