申请/专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司

申请日：2019-10-15

公开（公告）日：2023-12-29

公开（公告）号：CN112662990B

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.29#授权;2021.05.04#实质审查的生效;2021.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备，该金属薄膜预对准装置包括：支撑框架、支承板、回转轴承和驱动电机，回转轴承设置在支撑框架和支承板之间，且回转轴承的外圈与支撑框架连接，回转轴承的内圈与支承板连接，驱动电机包括电机定子和电机动子，电机定子与支撑框架连接，电机动子与支承板连接，电机动子被配置为能够在电机定子的驱动下带动支承板绕回转轴承的中心转动。上述的金属薄膜预对准装置能够有效提高张网设备的工作效率、降低张网设备的使用成本。相应地，本发明还提供一种金属薄膜预对准方法及张网设备。

主权项：1.一种金属薄膜预对准装置，其特征在于，包括：支撑框架（10）、支承板（20）、回转轴承（30）和驱动电机，所述回转轴承（30）设置在所述支撑框架（10）和所述支承板（20）之间，且所述回转轴承（30）的外圈与所述支撑框架（10）连接，所述回转轴承（30）的内圈与所述支承板（20）连接，所述驱动电机包括电机定子（41）和电机动子（42），所述电机定子（41）与所述支撑框架（10）连接，所述电机动子（42）与所述支承板（20）连接，所述电机动子（42）被配置为能够在所述电机定子（41）的驱动下带动所述支承板（20）绕所述回转轴承（30）的中心转动；所述电机定子（41）和所述电机动子（42）中一个为磁铁，另一个为线圈，所述支撑框架（10）的一端设置有定子安装架，所述支承板（20）上对应的位置上设置有动子安装架，所述电机定子（41）与所述定子安装架连接，所述电机动子（42）与所述动子安装架连接；所述金属薄膜预对准装置还包括平衡块（130），所述平衡块（130）设置在所述支承板（20）的与设置有动子支撑架（201）的一端相对的另一端上；所述金属薄膜预对准装置还包括滚珠支撑件，所述滚珠支撑件包括安装座（141）和万向滚珠（142），所述安装座（141）设置在所述支撑框架（10）上，所述万向滚珠（142）设置在所述安装座（141）上，且所述万向滚珠（142）与所述支承板（20）抵接；所述滚珠支撑件还包括摩擦板（143），所述摩擦板（143）设置在所述万向滚珠（142）和所述支承板（20）之间；所述金属薄膜预对准装置还包括磁条（160），所述磁条（160）设置在所述支承板（20）上；所述金属薄膜预对准装置还包括限位传感器（171）和传感器挡片（172），所述限位传感器（171）设置在所述支撑框架（10）上，所述传感器挡片（172）设置在所述支承板（20）上；所述金属薄膜预对准装置还包括机械限位安装板（181）和机械限位挡板（182），所述机械限位安装板（181）设置在所述支撑框架（10）上，所述机械限位挡板（182）设置在所述支承板（20）上；所述金属薄膜预对准装置还包括第一隔磁板（151）和第二隔磁板（152），所述第一隔磁板（151）设置在所述电机定子（41）上，且所述第一隔磁板（151）设置在所述电机定子（41）与所述支承板（20）之间，所述第二隔磁板（152）设置在所述支承板（20）上，所述第二隔磁板（152）设置在所述支承板（20）与所述第一隔磁板（151）之间；所述金属薄膜预对准装置使用时安装在传输机械手（60）与张网设备的夹爪（70）之间，所述传输机械手（60）从版库（80）取出金属薄膜（50）后将所述金属薄膜（50）传送到所述金属薄膜预对准装置的支承板（20）上。

全文数据：

权利要求：

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