申请/专利权人：日商乐华股份有限公司

申请日：2019-06-20

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN112313789B

主分类号：H01L21/68

分类号：H01L21/68

优先权：["20180622 JP 2018-118857"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2021.03.30#实质审查的生效;2021.02.02#公开

摘要：为了廉价地提供一种修正由齿形带的间距的制造误差引起的位置偏移以实现高定位精度的对准器，设置带齿形带和带轮检测传感器，所述带齿形带绕挂在与电动机连结的驱动带轮和与主轴连结的从动带轮之间，所述带轮检测传感器检测从动带轮的旋转位置，每当通过驱动带轮进行使从动带轮旋转一圈的旋转动作时，就检测从动带轮的旋转方向的位置偏移，并基于具有已知的旋转比的驱动带轮和从动带轮，计算从动带轮的旋转位置偏移的修正值。在驱动电动机的旋转角度信息丢失的情况下，为了寻找与原点搜索后的从动带轮和带齿形带的当前的相位对应的修正值，创建校正用检测数据。

主权项：1.一种对准器的修正值计算方法，在所述对准器中通过控制部计算对由齿形带的制造误差引起的从动带轮的旋转方向的位置偏移进行修正的修正值，其特征在于，所述对准器具备：能控制旋转角度的电动机；驱动带轮，其具备由所述电动机进行驱动的外齿；所述从动带轮，其具备相对于所述驱动带轮以给定的旋转比构成的外齿；所述齿形带，其与所述驱动带轮和所述从动带轮啮合，并绕挂在所述驱动带轮和所述从动带轮之间；主轴，其以同心轴状固定于所述从动带轮，并具有固定半导体晶圆的固定单元；校准传感器，其检测固定在所述主轴上的半导体晶圆的周缘；带轮检测传感器，其具备投光部和受光部，检测所述电动机驱动所述驱动带轮并使所述从动带轮旋转一圈时的该从动带轮的旋转位置作为所述受光部的受光量，将其大小作为检测值进行输出；以及所述控制部，其具备输入输出部、运算部以及存储部，并控制上述各部分的动作，所述对准器的修正值计算方法包括：基准值存储步骤，由所述带轮检测传感器检测所述驱动带轮、所述从动带轮以及所述齿形带分别处于给定的基准位置时的所述从动带轮的旋转位置，并将该检测值作为基准值存储在所述控制部中；检测值存储步骤，直到所述驱动带轮、所述从动带轮以及所述齿形带全部返回到各自的所述基准位置为止，执行使所述电动机进行了用于使所述从动带轮旋转一圈的给定的旋转动作时的所述带轮检测传感器的检测值，并在所述从动带轮的每旋转一圈时，存储在所述控制部中；以及修正值计算步骤，根据所述控制部中存储的所述检测值的变化量，使所述控制部计算对所述从动带轮的每旋转一圈的旋转位置的偏移量进行修正的修正值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 日商乐华股份有限公司 对准器以及对准器的修正值计算方法

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