申请/专利权人:北极光电(深圳)有限公司
申请日:2023-11-02
公开(公告)日:2024-01-19
公开(公告)号:CN117418194A
主分类号:C23C14/04
分类号:C23C14/04;C23C14/50;C23C14/54
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.02.06#实质审查的生效;2024.01.19#公开
摘要:本发明公开一种IBS真空镀膜均匀性修正装置及使用方法,修正装置包括修正板基座和两个以上的修正板,两个以上的修正板在修正板基座上称环形均匀分布,修正板安装端端头固定安装在修正板基座上,修正板的修正端头伸出至修正板基座外侧。采用本发明可以在镀膜过程中控制薄膜的均匀性,镀膜的合格范围更宽,良率更高。
主权项:1.一种IBS真空镀膜均匀性修正装置,其特征是:所述的修正装置包括修正板基座(1)和两个以上的修正板(2),两个以上的修正板(2)在修正板基座(1)上称环形均匀分布,修正板(2)安装端端头固定安装在修正板基座(1)上,修正板(2)的修正端头伸出至修正板基座(1)外侧。
全文数据:
权利要求:
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