申请/专利权人:长鑫存储技术有限公司
申请日:2022-10-14
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117935898A
主分类号:G11C29/56
分类号:G11C29/56
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本公开是关于一种可靠性测试装置及可靠性测试方法,涉及集成电路技术领域。该可靠性测试装置包括:测试芯片和测试板;其中,测试芯片的至少部分芯片金属垫与其相对应的测试板的测试板金属垫连接成串联链路,串联链路用于监控至少部分芯片金属垫与测试板金属垫的连接可靠性。本公开提供一种对芯片进行板级可靠性评估的方法。
主权项:1.一种可靠性测试装置,其特征在于,所述装置包括:测试芯片和测试板;其中,所述测试芯片的至少部分芯片金属垫与其相对应的所述测试板的测试板金属垫连接成串联链路,所述串联链路用于监控所述至少部分芯片金属垫与所述测试板金属垫的连接可靠性。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 长鑫存储技术有限公司 可靠性测试装置及可靠性测试方法
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