申请/专利权人：杭州长川科技股份有限公司

申请日：2023-09-25

公开（公告）日：2024-01-23

公开（公告）号：CN117434321A

主分类号：G01R3/00

分类号：G01R3/00;G01R1/073

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.09#实质审查的生效;2024.01.23#公开

摘要：本申请涉及一种探针台扎针修正方法、装置、探针台及电子设备。该方法包括：操作电机带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第一图像；基于第一图像，判断针痕是否发生线性偏移；若是，则基于第一图像确定针痕的线性偏移量，根据线性偏移量确定线性修正值；根据线性修正值对探针台进行线性修正；操作电机带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对线性修正后探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第二图像；基于第二图像，判断针痕是否发生角度偏移；若是，则基于第二图像确定针痕的角度偏移量，根据角度偏移量确定角度修正值；根据角度修正值对探针台进行角度修正。采用本申请，可以减少扎针误差、提高扎针精度。

主权项：1.一种探针台扎针修正方法，其特征在于，包括：操作电机间隔固定晶粒数带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第一图像；基于所述第一图像，判断所述针痕是否发生线性偏移；若发生线性偏移，则基于所述第一图像确定所述针痕的线性偏移量，根据所述线性偏移量确定线性修正值；根据所述线性修正值对所述探针台进行线性修正；操作电机间隔固定晶粒数带动晶圆进行轴向等步距运动，获取对线性修正后探针台上的晶圆进行扎针所得针痕的第二图像；基于所述第二图像，判断所述针痕是否发生角度偏移；若发生角度偏移，则基于所述第二图像确定所述针痕的角度偏移量，根据所述角度偏移量确定角度修正值；根据所述角度修正值对所述探针台进行角度修正。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州长川科技股份有限公司 探针台扎针修正方法、装置、探针台及电子设备

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