申请/专利权人：上海凯来仪器有限公司

申请日：2023-06-09

公开（公告）日：2024-01-26

公开（公告）号：CN116773507B

主分类号：G01N21/65

分类号：G01N21/65;G01N21/01;G01N27/626

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.01.26#授权;2023.10.10#实质审查的生效;2023.09.19#公开

摘要：本发明公开了一种三维激光剥蚀质谱仪、联用检测系统及检测方法，所述三维激光剥蚀质谱仪包括激光剥蚀系统、检测池、磨抛系统和质谱检测装置；所述联用检测系统包括：上述三维激光剥蚀质谱仪和拉曼激光系统，所述检测方法包括对样品检测后进行样品表面磨抛。本发明通过引入机械磨抛，去除了样品表面由于激光剥蚀而产生的热变层，一方面利用了激光剥蚀的高效性，另一方面也消除了激光剥蚀的聚焦点的能量对检测可能产生的影响。

主权项：1.一种三维激光剥蚀质谱仪，其特征在于，包括：激光剥蚀系统，所述激光剥蚀系统用于发射剥蚀激光，所述激光剥蚀系统包括三维振镜系统；检测池，所述检测池包括检测池壳体、载物台、样品门、进气口、出气口、剥蚀激光窗口和真空泵，所述载物台用于盛放样品，所述载物台设置在检测池壳体内，所述样品门、进气口、出气口、剥蚀激光窗口开设在检测池壳体上；磨抛系统，所述磨抛系统用于对经过激光剥蚀系统扫描后的样品表面进行磨抛；质谱检测装置，所述质谱检测装置用于对激光剥蚀系统产生的气溶胶进行质谱检测。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海凯来仪器有限公司 一种三维激光剥蚀质谱仪、联用检测系统及检测方法

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