申请/专利权人：维科托(北京)科技有限公司

申请日：2021-09-16

公开（公告）日：2024-02-13

公开（公告）号：CN113793795B

主分类号：H01J49/04

分类号：H01J49/04;H01J49/00;G01N27/62

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.13#授权;2021.12.31#实质审查的生效;2021.12.14#公开

摘要：本发明揭示一种解吸电离探针以及样品剥蚀扫描方法。所述探针所述喷嘴与所述喷管可拆卸连接，所述喷管包括主体，内腔件，接头，毛细管及两通管。所述主体一端与所述喷嘴可拆卸连接；所述内腔件一端与所述主体的另一端连接，所述接头为侧壁围成的双通腔体结构，所述腔体结构的一端抵接主体和内腔件的另一端，所述毛细管贯穿于所述接头、所述内腔件、所述主体以及所述喷嘴，所述毛细管一端伸出于喷嘴，两通管，其一端内部与所述毛细管的另一端接通，其一端外部与所述腔体结构的另一端抵接。本发明揭示的解吸电离探针以及样品剥蚀扫描方法提高了样品剥蚀扫描的灵敏度、分辨率以及样品的成像质量。

主权项：1.一种解吸电离探针，包括喷嘴和喷管，所述喷嘴安装于所述喷管的下端，其特征在于，所述喷嘴与所述喷管可拆卸连接，所述喷管包括：主体，其一端与所述喷嘴可拆卸连接；内腔件，其一端与所述主体的另一端连接；接头，其为侧壁围成的双通腔体结构，所述腔体结构的一端抵接主体和内腔件的另一端；毛细管，所述毛细管贯穿于所述接头、所述内腔件、所述主体以及所述喷嘴，所述毛细管一端伸出于喷嘴；两通管，其一端内部与所述毛细管的另一端接通，其一端外部与所述腔体结构的另一端抵接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 维科托(北京)科技有限公司 解吸电离探针以及样品剥蚀扫描方法

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