申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117665338B

主分类号：G01R1/04

分类号：G01R1/04;G01R31/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2024.03.26#实质审查的生效;2024.03.08#公开

摘要：本申请提供一种卡盘组件及探针台。卡盘组件包括：卡盘，卡盘具有承载面及第一通孔，承载面用于承载晶圆，第一通孔贯穿于承载面；顶杆组件，顶杆组件包括相连的顶杆及顶杆底座，顶杆底座连接于卡盘背离承载面的一侧，顶杆能够穿设于第一通孔；及干涉组件，干涉组件能够阻挡顶杆组件沿第一方向的移动；卡盘组件具有第一状态及第二状态，当卡盘组件处于第一状态时，顶杆未显露于承载面；当卡盘组件由第一状态切换至第二状态时：卡盘沿第一方向移动，干涉组件阻挡顶杆底座移动，顶杆穿设于第一通孔并显露于承载面，且顶杆能够将晶圆与卡盘相分离。所述卡盘组件能够避免顶杆震动将晶圆震坏、划伤，进而提升探针台的精准度和可靠性。

主权项：1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括：卡盘，所述卡盘具有承载面及第一通孔，所述承载面用于承载晶圆，所述第一通孔贯穿于所述承载面；顶杆组件，所述顶杆组件包括相连的顶杆及顶杆底座，所述顶杆底座连接于所述卡盘背离所述承载面的一侧，所述顶杆设置于所述顶杆底座邻近所述卡盘的一侧，并能够穿设于所述第一通孔；及干涉组件，所述干涉组件设置于所述卡盘背离所述承载面的一侧，并能够阻挡所述顶杆组件沿第一方向的移动，所述第一方向为所述卡盘指向所述顶杆底座的方向；所述卡盘组件具有第一状态及第二状态，当所述卡盘组件处于第一状态时，所述顶杆未显露于所述承载面；当所述卡盘组件由第一状态切换至第二状态时：所述卡盘沿第一方向移动，所述干涉组件阻挡所述顶杆底座移动，所述顶杆穿设于所述第一通孔并显露于所述承载面，且所述顶杆能够将晶圆与所述卡盘相分离；其中，所述卡盘组件还包括升降组件，所述升降组件连接于所述卡盘背离所述承载面的一侧，并能够带动所述卡盘沿所述第一方向及所述第一方向的反方向往复运动；所述顶杆组件包括多个顶杆，所述多个顶杆连接于所述顶杆底座，所述顶杆底座环绕并间隔设置于所述升降组件的周侧，且所述多个顶杆环绕并间隔设置于所述升降组件的周侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 卡盘组件及探针台

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD