申请/专利权人:浙江工业大学
申请日:2023-11-15
公开(公告)日:2024-01-30
公开(公告)号:CN117471816A
主分类号:G02F1/355
分类号:G02F1/355;G02F1/35;G02F1/365
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开
摘要:一种非严格梯形二氧化钛‑铌酸锂波导结构,二氧化钛‑铌酸锂波导内部涵盖四层结构,自上而下分别是:第一层是非严格梯形二氧化钛材料层,第二层为铌酸锂材料层,第三层为二氧化硅,底层为硅衬底。以及提供一种非严格梯形二氧化钛‑铌酸锂波导结构的制作方法。本发明通过有限元分析法,电子束刻蚀以及离子刻蚀和飞秒激光刻蚀几种方法进行结合,通过使用飞秒激光修饰波导顶层两端圆弧,达到精细加工的效果,从而获得高的倍频转换效率。
主权项:1.一种非严格梯形二氧化钛-铌酸锂波导结构,其特征在于,二氧化钛-铌酸锂波导内部涵盖四层结构,自上而下分别是:第一层是非严格梯形二氧化钛材料层,第二层为铌酸锂材料层,第三层为二氧化硅,底层为硅衬底。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 浙江工业大学 一种非严格梯形二氧化钛-铌酸锂波导结构及制作方法
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