申请/专利权人：天通凯巨科技有限公司

申请日：2023-07-10

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220783486U

主分类号：B24B37/30

分类号：B24B37/30

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本发明公开一种大尺寸超薄铌酸锂基片抛光用游星轮，其中包含树脂缓冲层，减少基片与不锈钢游星轮的直接碰撞，起到了缓冲作用，减少了崩边等异常的产生。抛光液填补区，在游星轮自转轨迹游经相关区域，设置均匀孔洞，提升在抛光过程中游星轮携带抛光液的能力，有效中和抛光液酸碱性，防止抛光过程中PH值的降低导致的橘皮现象产生与PH值升高导致的表面粗糙度不良，同时更有利于将抛光产生的副产物带走。加固区，在游星轮的抛光液填补区增设梁状结构，用以平衡抛光时游星轮表面应力，防止游星轮翘曲导致的基片TTV不良。

主权项：1.一种大尺寸超薄铌酸锂基片抛光用游星轮，其特征在于，包括：树脂缓冲区11，抛光液填补区12，中部加固区13，两侧加固区14，所述抛光液填补区面积为游星轮面积的30～50％，抛光液填补区设置有均匀孔洞，孔洞孔径为3～5mm，相邻孔洞圆心距为3～5mm，所述中部加固区宽度为50～75mm，两侧加固区宽度为30～40mm，两侧加固区在中部加固区两侧对称分布，每侧相对于中部加固区的夹角为35～45°。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天通凯巨科技有限公司 一种大尺寸超薄铌酸锂基片抛光用游星轮

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