申请/专利权人：安合鑫光电科技(苏州)有限公司

申请日：2023-09-12

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN220788772U

主分类号：C23C14/56

分类号：C23C14/56;C23C14/34;C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权

摘要：本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，且公开了一种溅射镀膜基片架，包括底板，所述底板上固定安装有左右对应的侧板，两组所述侧板之间设有送料履带，通过送料履带对基片进行传动上料，所述送料履带的外表面等距固定安装有多组海绵垫，所述底板上转动安装有转柱，所述转柱上设置有基片夹持机构。通过转柱旋转带动对应的基片呈悬空状分布，方便人对悬空状分布基片进行溅射镀膜作业，与此同时，下一组旋转架将分布在送料履带输送端正上方，通过送料履带与基片夹持机构的配合，使批量基片可以依次被输送和夹持固定，达到了溅射镀膜作业连续性进行的效果，提高了基片溅射镀膜效率。

主权项：1.一种溅射镀膜基片架，包括底板1，所述底板1上固定安装有左右对应的侧板2，其特征在于：两组所述侧板2之间设有送料履带3，通过送料履带3对基片5进行传动上料，所述送料履带3的外表面等距固定安装有多组海绵垫4；所述底板1上转动安装有转柱6，所述转柱6上设置有基片夹持机构，基片夹持机构分布在送料履带3的输送端；所述基片5夹持机构包括控制盒7，所述控制盒7固定安装在转柱6的上端，所述控制盒7为中空的正方形结构，控制盒7的内部设置有控制机构；所述控制盒7的四周侧壁面均固定安装有旋转架8。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安合鑫光电科技(苏州)有限公司 一种溅射镀膜基片架

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